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1. WO2020114366 - PRESSURE SENSOR AND PREPARATION METHOD THEREFOR

Publication Number WO/2020/114366
Publication Date 11.06.2020
International Application No. PCT/CN2019/122534
International Filing Date 03.12.2019
IPC
G01L 1/22 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
20by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
22using resistance strain gauges
CPC
G01L 1/2293
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
20by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids
22using resistance strain gauges
2287constructional details of the strain gauges
2293of the semi-conductor type
Applicants
  • 深圳先进技术研究院 SHENZHEN INSTITUTES OF ADVANCED TECHNOLOGY [CN]/[CN]
Inventors
  • 何可 HE, Ke
  • 陈明 CHEN, Ming
  • 程冠铭 CHENG, Guanming
  • 冯叶 FENG, Ye
  • 钟国华 ZHONG, Guohua
  • 李文杰 LI, Wenjie
  • 杨春雷 YANG, Chunlei
Agents
  • 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 MING & YUE INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM
Priority Data
201811465689.X03.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) PRESSURE SENSOR AND PREPARATION METHOD THEREFOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION ET SON PROCÉDÉ DE PRÉPARATION
(ZH) 压力传感器及其制备方法
Abstract
(EN)
A pressure sensor and a preparation method therefor. The pressure sensor comprises a first electrode plate (10) and a second electrode plate (20) which are arranged opposite to each other. The first electrode plate (10) comprises a first substrate (11) and a metal interdigital electrode (12) provided on the first substrate (11), the surface of the metal interdigital electrode (12) being formed as a rough surface (13); the second electrode plate (20) comprises a second substrate (21) having a micro-structure array (21a) on the surface of one side and a composite metal layer (22) covering the micro-structure array (21a); and the composite metal layer (22) and the rough surface (13) are in contact with and connected to each other. The pressure sensor can increase the sensitivity, and can also maintain the cycle stability of devices.
(FR)
La présente invention concerne un capteur de pression et son procédé de préparation. Le capteur de pression comprend une première plaque d'électrode (10) et une seconde plaque d'électrode (20) qui sont disposées de façon opposée l'une à l'autre. La première plaque d'électrode (10) comprend un premier substrat (11) et une électrode métallique interdigitée (12) disposée sur le premier substrat (11), la surface de l'électrode métallique interdigitée (12) étant constituée d'une surface rugueuse (13) ; la seconde plaque d'électrode (20) comprend un second substrat (21) doté d'un réseau de microstructures (21a) sur la surface d'un côté et une couche métallique composite (22) recouvrant le réseau de microstructures (21a) ; et la couche métallique composite (22) et la surface rugueuse (13) sont en contact et reliées entre elles. Le capteur de pression peut augmenter la sensibilité, et peut également maintenir la stabilité de cycle des dispositifs.
(ZH)
一种压力传感器及其制备方法,其中压力传感器包括相对设置的第一电极板(10)和第二电极板(20),第一电极板(10)包括第一衬底(11)以及设置在第一衬底(11)上的金属叉指电极(12),金属叉指电极(12)的表面形成为粗糙表面(13);第二电极板(20)包括一侧表面具有微结构阵列(21a)的第二衬底(21)和覆设于微结构阵列(21a)上的复合金属层(22);其中,复合金属层(22)与粗糙表面(13)互相抵触连接。该压力传感器在提高其灵敏度的同时又能保持器件循环的稳定性。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau