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1. WO2020113426 - METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING INERT GASE USING ION PROBE

Publication Number WO/2020/113426
Publication Date 11.06.2020
International Application No. PCT/CN2018/119204
International Filing Date 04.12.2018
IPC
G01N 27/68 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
62by investigating the ionisation of gases; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
68using electric discharge to ionise a gas
Applicants
  • 中国科学院地质与地球物理研究所 INSTITUTE OF GEOLOGY AND GEOPHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN]/[CN]
Inventors
  • 刘宇 LIU, Yu
  • 唐国强 TANG, Guoqiang
  • 李秋立 LI, Qiuli
Agents
  • 北京金智普华知识产权代理有限公司 BEI JING JINZHIPUHUA INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO. LTD
Priority Data
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING INERT GASE USING ION PROBE
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE MESURE DE GAZ INERTE À L'AIDE D'UNE SONDE IONIQUE
(ZH) 一种使用离子探针测量惰性气体的方法及其系统
Abstract
(EN)
Disclosed are a method and system for measuring inert gasusing an ion probe. The method comprises the following steps: embedding a to-be-measured sample (2) into epoxy resin to prepare a sample target, the to-be-measured sample including atoms of an inert gas; placing the prepared sample target into the analysis cavity of an ion probe, and vacuumizing the analysis cavity, wherein the ion probe including a primary ion source (101), an electronic gun (108), a mass analyzer (106) and an ion receiver (107); using primary ions (1) formed by the primary ion source to bombard the sample target so as to release inert gas atoms in the sample target; an using an electronic beam formed by the electronic gun to perform ionization on the released inert gas atoms so as to form inert gas ions; and using the mass analyzer (106) and the ion receiver (107) to analyze secondary ions containing the inert gas ions, thereby realizing the measurement of inert gas.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un système visant à mesurer un gaz inerte à 'aide d'une sonde ionique. Le procédé comprend les étapes suivantes consistant à : incorporer un échantillon à mesurer (2) dans une résine époxyde pour préparer une cible d'échantillon, l'échantillon à mesurer comprenant des atomes d'un gaz inerte; placer la cible d'échantillon préparée dans la cavité d'analyse d'une sonde ionique, et mettre sous vide la cavité d'analyse, la sonde ionique comprenant une source d'ions primaires (101), un canon à électrons (108), un analyseur de masse (106) et un récepteur d'ions (107); utiliser des ions primaires (1) formés par la source d'ions primaires pour bombarder la cible d'échantillon de façon à libérer des atomes de gaz inerte dans la cible d'échantillon; et utiliser un faisceau électronique formé par le canon à électrons pour effectuer une ionisation sur les atomes de gaz inerte libérés de façon à former des ions de gaz inerte; et utiliser l'analyseur de masse (106) et le récepteur d'ions (107) pour analyser des ions secondaires contenant les ions de gaz inerte, ce qui permet de réaliser la mesure de gaz inerte.
(ZH)
一种使用离子探针测量惰性气体的方法及其系统,该方法包括:将被测样品(2)嵌入环氧树脂中制成样品靶,所述被测样品中包含惰性气体原子;在将所制成的样品靶放入离子探针的分析腔体之后,对所述分析腔体抽真空,其中所述离子探针包括一次离子源(101)、电子枪(108)、质量分析器(106)和离子接收器(107);利用所述一次离子源形成的一次离子(1)来轰击所述样品靶以使得所述样品靶中的惰性气体原子释放出来;利用所述电子枪形成的电子束对释放出来的惰性气体原子进行电离以形成惰性气体离子;以及利用所述质量分析器(106)和所述离子接收器(107)对包含有所述惰性气体离子的二次离子进行分析,以实现对所述惰性气体的测量。
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