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1. WO2020111487 - FIBER SCANNING SYSTEM

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명세서

발명의 명칭

기술분야

1  

배경기술

2   3   4   5   6   7   8   9  

발명의 상세한 설명

기술적 과제

10   11  

과제 해결 수단

12   13   14   15   16   17   18   19   20   21   22   23   24   25   26   27  

발명의 효과

28  

도면의 간단한 설명

29   30   31   32   33  

발명의 실시를 위한 최선의 형태

34   35   36   37   38   39   40   41   42   43   44   45   46   47   48   49   50   51   52   53   54   55   56   57   58   59   60   61  

청구범위

1   2   3   4   5   6   7   8   9  

도면

1   2   3   4   5  

명세서

발명의 명칭 : 파이버 스캐닝 시스템

기술분야

[1]
본 발명은 파이버 스캐닝 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 비대칭 주파수 분리부를 구비함으로써 주파수를 분리하여 균일한 영상정보의 취득 및 균일한 빛조사가 가능하고, 다양한 형태로 스캐닝이 가능한 리사주 스캔을 적용한 파이버 스캐닝 시스템에 관한 것이다.

배경기술

[2]
파이버 스캐너는 광섬유를 사용하여 외부 영상을 획득하기 위한 장비로서, 촬영 대상에 접근 및 조작이 용이하여 다양한 산업분야에 적용된다.
[3]
특히 근래에는 상기 스캐너를 소형화하여 의료용 스캐너 및 내시경용 스캐너로 그 활용도가 높다.
[4]
종래기술1을 보면, 국내 등록특허 10-1583277호는, MEMS 기반의 주파수 분리기를 이용한 광섬유 스캐닝 프로브에 관한 것으로 스캐너 자체의 비대칭성을 통한 공진주파수의 변조를 이용해 공진주파수 변조를 위한 추가적인 구조물 없이 하나의 입력 신호로 2차원 구동을 구현 할 수 있는 2차원 광학 스캐닝을 위한 스캐너를 제공하는 구성이 개시된다.
[5]
위 종래기술1을 도 1을 통해 설명하면 제1고정부(50)와 고정블록(51)의 상측에 절연층(52)이 형성되고, 절연층(52)의 상측에 구동 암의 일단이 고정된다. 즉, 구동 암들의 일단이 고정되는 제1고정부(50)는 구동 암들의 일단이 서로 전기적으로 연결되지 않도록 고정블록(51)의 상측에 절연층(52)이 형성되고 절연층(52)의 상측에 구동 암의 일단이 고정되는 형태로 형성된다.
[6]
따라서 위의 종래 기술에 의하면 광섬유 끝단을 MEMS 타입의 판형 Cantilever를 통해 진동시켜 스캐닝하고, 비대칭 형상의 MEMS Cantilever가 두 축방향으로 광섬유의 공진주파수를 분리시킬 수 있으며 Cantilever의 Stiffness를 조절하여 두 주파수의 차이를 조절한다.
[7]
그러나 상기와 같은 종래기술1은 MEMS 방식은 제품의 소형화에 한계가 있으며, MEMS 공정으로 추가 mass를 만드는 과정이 복잡하여 비용 효율 측면에서도 좋지 않은 문제점이 있다.
[8]
또 다른 종래기술2로서 미국특허 US2008/0249369A1(2008. 10. 9 공개)에 의하면 광섬유 끝단을 PZT 타입의 튜브 액츄에이터(225)를 통해 진동시켜 스캐닝하는 프루브(245)가 개시되어 있으며, 이는 튜브 엑츄에이터와 광섬유의 부착부가 튜브 엑츄에이터의 고정점보다 더 뒤에 위치하는 인버터 구조이다.
[9]
즉 종래기술2를 도 2를 통해 설명하면, 스캐너인 광섬유의 일부분이 튜브 액츄에이터에 의해 감싸지는 구조로서 전체 길이를 줄일 수 있는 장점이 있으나, 프로브의 위치를 다양한 형태로 제어하는 구성이 결여됨에 따라 프로브의 위치를 제어하는데 한계가 있는 문제점이 있다.

발명의 상세한 설명

기술적 과제

[10]
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 초정밀 기기를 사용하여 제작한 비대칭 형상의 탄성체인 주파수 분리부를 압전 튜브 내에 구비함으로써 공정과정을 단순화하고, 상기 주파수 분리부의 탄성도를 조절하여 공진주파수의 크기 및 주파수가 분리되는 정도를 조절함으로써 비교적 간단한 방식으로 X축과 Y축 방향의 공진주파수를 분리시킬 수 있으며, 파이버 스캐닝 하우징의 전장 길이를 줄임으로써 제품의 초소형화가 가능할 뿐만 아니라 또한 상기 주파수 분리부에 의해 균일한 영상 정보를 취득하고, 원하고자 하는 영역에 균일한 광량 조사가 가능한 파이버 스캐닝 시스템을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.
[11]
그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

과제 해결 수단

[12]
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 주사 광섬유 내시경에 있어서, 주사 광섬유 내시경의 하우징(50)과, 상기 하우징 내에는 원통형 압전 튜브(100)가 구비되고, 상기 원통형 압전 튜브의 일단부(101)는 상기 하우징 내면의 소정의 위치에 배치된 압전 튜브 결합부(130)에 물리적으로 고정 결합되며 상기 원통형 압전 튜브의 내부에는 한쪽만 고정된 외팔보 형태의 광섬유 스캐너(200)가 구비되되 상기 광섬유 스캐너의 타단부(206)는 상기 원통형 압전 튜브의 타단부(102)에서 광섬유고정부(110)에 의해 물리적으로 결합되고, 상기 광섬유 스캐너의 일단부(205)는 자유단이며 이때 상기 광섬유고정부(110)에 의해 고정되는 광섬유 스캐너는 상기 광섬유고정부에서 돌출된 형태로 상기 광섬유고정부(110)와 결합된 주파수 분리부(120)를 통과하도록 배치된다.
[13]
그리고 상기 압전 튜브(100)에는 전류를 인가하는 전선이 연결되되 상기 압전 튜브의 중심축을 z 축이라 하고 상기 z 축에 수직이면서 상기 압전 튜브의 단면에 대해 평행하며 서로 수직 축을 x축과 y축이라 할 때 상기 압전 튜브가 상기 하우징에 고정 결합된 일단부(101)에 대해 상기 압전 튜브의 타단부(102)가 상기 x축 혹은 y축 방향으로 휘어져 변형이 이루어지도록 상기 전선이 배치되어 전원이 인가된다.
[14]
또한 상기 주파수 분리부(120)는 상기 광섬유 스캐너를 감싸는 원기둥 형태로서, 상기 주파수 분리부는 x축방향의 탄성계수와 y축방향의 탄성계수를 서로 다르게 형성됨에 따라 상기 압전 튜브의 거동에 의해 상기 광섬유 스캐너의 일단부(205)는 리사쥬 형태로 거동한다.
[15]
상기에서 압전 튜브(100)는 외경이 1.0 - 2.0mm 내경이 0.6 - 1.3mm 길이는 대략 4 - 10mm 인 것을 특징으로 한다.
[16]
또한 상기 광섬유 스캐너의 외경을 감싸는 상기 주파수 분리부는 상기 광섬유 스캐너와 접착제로 부착되고, 또한 상기 주파수 분리부의 타단부는 상기 광섬유고정부(110)와 접착제로 부착되어 상기 광섬유 스캐너가 진동할 때 상기 주파수 분리부도 함께 진동한다.
[17]
그리고 상기 주파수 분리부의 단면 형상은 상기 x축방향의 곡률과 상기 y 축방향의 곡률이 다르게 형성됨에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도가 서로 다르게 형성시킬 수 있다.
[18]
또한 상기 주파수 분리부의 단면에서 상기 x축방향의 재질과 상기 y 축방향의 재질을 이종의 재질을 적용함에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시킬 수 있다.
[19]
나아가 상기 주파수 분리부의 단면에서 상기 x축방향이 길이와 상기 y 축방향의 길이를 서로 다르게 적용함에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시킬 수 있다.
[20]
또한 상기 주파수 분리부의 단면에서 상기 x축방향의 단면 끝부분을 형성하는 면의 곡률과 상기 y 축방향의 단면 끝부분을 형성하는 면의 곡률을 서로 다르게 적용함에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시킬 수 있다
[21]
나아가 상기 압전 튜브의 z축방향의 길이를 L 이라하고, 상기 주파수 분리부의 z축방향의 길이를 L1 라 하며, 광섬유 스캐너의 상기 광섬유고정부에서 자유단까지의 길이를 L2 라 할 때 L1 < L < L2 로 형성되는 것이 바람직하나 필요에 따라 L1 < L2 < L 또는 L<L1<L 형태로 사용될 수 있다.
[22]
상기에서 하우징(50)은 전단부에서 후단부로 이동함에 따라 단면의 직경이 점차 증가하는 원뿔형 리어 하우징(51)과 원통형 형상으로 이루어지는 프론트 하우징(53)을 포함하여 이루어지되, 상기 리어하우징의 전단부 외측면은, 하우징의 길이방향으로 돌출되어 단면의 직경이 동일하다.
[23]
상기 리어하우징(51)은 리어하우징의 후단부 외측면을 따라 소정의 길이를 갖도록 돌출 된 제1 결합부(52);가 구비되되 이때 상기 제1 결합부의 내경은 상기 리어하우징의 내경과 일치하고 또한 상기 프론트 하우징(53)은 프론트 하우징의 전단부 외측면을 따라 소정의 길이를 갖도록 돌출 된 제2결합부(54);가 구비되되 상기 제2결합부의 외경은 상기 프론트 하우징의 외경과 일치하며 상기 제1 결합부의 외경이 상기 제2결합부의 내경과 일치함에 따라 제1 결합부가 상기 제2결합부와 끼움 결합된다.
[24]
또한 상기 프론트 하우징의 내측 후방에는 렌즈 실장부(300);가 구비되되 상기 제1공간부에는 렌즈가 실장되어 광섬유 스캐너 끝단에서 나온 빛을 집광시켜 소정의 영역에 초점이 맺히도록 한다.
[25]
그리고 상기 제1공간부에는 2개 이상의 렌즈를 배열시킴으로써 단일렌즈보다 수차를 줄일 수 있다.
[26]
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
[27]
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

발명의 효과

[28]
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 비대칭 구조의 주파수 분리기 가 결합된 광섬유 스케너를 압전 튜브 내에 삽입하여 스케닝하되 상기 주파수 분리기의 단면에 대한 축방향의 탄성도를 다르게 함으로써 광섬유 스케너의 거동을 폭넓게 구현 할 수 있어 다양한 형태로 영상을 획득할 수 있는 효과가 기대된다.

도면의 간단한 설명

[29]
도 1은 종래 기술의 비대칭 질량을 가진 주파수 분리기를 이용한 광섬유 스캐닝 프로브를 도시한 것이다.
[30]
도 2는 종래 기술의 광섬유 스캐닝 프로브 형상을 도시한 것이다.
[31]
도 3은 본 발명의 파이버 스캐닝 시스템의 결합상태 단면을 도시한 것이다.
[32]
도 4는 본 발명의 파이버 스캐닝 시스템의 결합상태 사시도를 도시한 것이다.
[33]
도 5는 본 발명의 비대칭 주파수 분리부가 광섬유 고정부와 광섬유 스캐너에 결합된 상태를 개략적으로 도시한 것이다.

발명의 실시를 위한 최선의 형태

[34]
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
[35]
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.
[36]
아울러, 아래의 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시 예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.
[37]
첨부된 도 3은 본 발명의 파이버 스캐닝 시스템의 결합상태 단면을 도시한 것이다.
[38]
도3을 참조하면, 주사 광섬유 내시경에 있어서, 주사 광섬유 내시경의 하우징(50)과, 상기 하우징 내에는 원통형 압전 튜브(100)가 구비되고, 상기 원통형 압전 튜브의 일단부(101)는 상기 하우징 내면의 소정의 위치에 배치된 압전 튜브 결합부(130)에 물리적으로 고정 결합되며 상기 원통형 압전 튜브의 내부에는 한쪽만 고정된 외팔보 형태의 광섬유 스캐너(200)가 구비되되 상기 광섬유 스캐너의 타단부(102)는 상기 원통형 압전 튜브의 타단부(102)에서 광섬유고정부(110)에 의해 물리적으로 결합되고, 상기 광섬유 스캐너의 일단부(205)는 자유단이며 이때 상기 광섬유고정부(110)에 의해 고정되는 광섬유 스캐너는 상기 광섬유고정부에서 돌출된 형태로 상기 광섬유고정부(110)와 결합된 주파수 분리부(120)를 통과하도록 배치된다.
[39]
이를 더욱 상세하게 설명하면, 상기 압전 튜브(200)의 z축방향의 길이를 L 이라하고, 상기 주파수 분리부(120)의 z축방향의 길이를 L1 라 하며, 광섬유 스캐너의 상기 광섬유고정부에서 자유단까지의 길이를 L2 라 할 때 L1 < L < L2 또는 L1 < L2 < L 또는 L<L1<L로 형성될 수 있다.
[40]
상기에서 하우징(50)은 전단부에서 후단부로 이동함에 따라 단면의 직경이 점차 증가하는 원뿔형 리어 하우징(51)과 원통형 형상으로 이루어지는 프론트 하우징(53)을 포함하여 이루어지되, 상기 리어하우징의 전단부 외측면은, 하우징의 길이방향으로 돌출되어 단면의 직경이 동일하다.
[41]
상기 리어하우징(51)은 리어하우징의 후단부 외측면을 따라 소정의 길이를 갖도록 돌출 된 제1 결합부(52);가 구비되되 이때 상기 제1 결합부의 내경은 상기 리어하우징의 내경과 일치하고 또한 상기 프론트 하우징(53)은 프론트 하우징의 전단부 외측면을 따라 소정의 길이를 갖도록 돌출 된 제2결합부(54);가 구비되되 상기 제2결합부의 외경은 상기 프론트 하우징의 외경과 일치하며 상기 제1 결합부의 외경이 상기 제2결합부의 내경과 일치함에 따라 제1 결합부가 상기 제2결합부와 끼움 결합된다.
[42]
또한 상기 프론트 하우징의 내측 후방에는 렌즈 실장부(300);가 구비되되 상기 제1공간부에는 렌즈가 실장되어 광섬유 스캐너 끝단에서 나온 빛을 집광시켜 소정의 영역에 초점이 맺히도록 한다.
[43]
상기에서 제1공간부에는 2개 이상의 렌즈를 배열시킴으로써 단일렌즈보다 수차를 줄일 수 있다.
[44]
첨부된 도 4는 본 발명의 파이버 스캐닝 시스템의 결합상태 사시도를 도시한 것이다.
[45]
도 4를 참조하면, 상기 압전 튜브(100)에는 전류를 인가하는 전선이 연결되되 상기 압전 튜브의 중심축을 z 축이라 하고 상기 z 축에 수직이면서 상기 압전 튜브의 단면에 대해 평행하며 서로 수직 축을 x축과 y축이라 할 때 상기 압전 튜브가 상기 하우징에 고정 결합된 일단부(101)에 대해 상기 압전 튜브의 타단부(102)가 상기 x축 혹은 y축 방향으로 휘어져 변형이 이루어지도록 상기 전선이 배치되어 전원이 인가된다.
[46]
또한 상기 주파수 분리부(120)는 상기 광섬유 스캐너를 감싸는 원기둥 형태로서, 상기 주파수 분리부는 x축방향의 탄성계수와 y축방향의 탄성계수를 서로 다르게 형성됨에 따라 상기 압전 튜브의 거동에 의해 상기 광섬유 스캐너의 일단부(205)는 리사쥬 형태로 거동한다.
[47]
이때 상기 압전 튜브(100)는 외경이 1.0 - 2.0mm 내경이 0.6 - 1.3mm 길이는 대략 4 - 10mm 정도가 되는 것이 바람직하다.
[48]
첨부된 도 5는 본 발명의 비대칭 주파수 분리부가 광섬유 고정부와 광섬유 스캐너에 결합된 상태를 개략적으로 도시한 것이다.
[49]
도 5를 참조하면, 상기 광섬유 스캐너의 외경을 감싸는 상기 주파수 분리부(120)는 상기 광섬유 스캐너(200)와 접착제(60)로 접착되고, 또한 상기 주파수 분리부의 타단부는 상기 광섬유고정부(110)와 접착제(60)로 접착되어 상기 광섬유 스캐너가 진동할 때 상기 주파수 분리부도 함께 진동한다.
[50]
또한 상기 주파수 분리부의 단면 형상은 상기 x축방향의 곡률과 상기 y 축방향의 곡률이 다르게 형성됨에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시키는 것이 바람직하다.
[51]
나아가 본 발명에서는 원통형 압전 튜브의 일단부(101)는 상기 하우징 내면의 소정의 위치에 배치된 압전 튜브 결합부(130)에 의해 물리적으로 고정 결합시키고, 광섬유 스캐너의 타단부(102)를 원통형 압전 튜브의 타단부(102)에서 광섬유고정부(110)에 의해 물리적으로 결합시키며, 상기 광섬유고정부(110)에 의해 고정되는 광섬유 스캐너에는 상기 광섬유고정부에서 돌출된 형태로 상기 주파수 분리부(120)를 구비시키게 된다.
[52]
이에 따라, 주사파 분리부의 공진 주파수 대역의 진동수로 압전 튜브를 거동시키면 작은 압전 튜브의 변위로 상기 광섬유 스캐너 끝단의 변위를 크게 만들어 관심영역을 스캔할 수 있으며, 광섬유 스캐너 끝단을 원하는 스캔 패턴으로 움직일 수 있어 스캔하고자 하는 영역의 스캔이 가능한 특징이 있다.
[53]
이상 본 발명을 구체적인 실시 예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
[54]
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.
[55]
[부호의 설명]
[56]
50 하우징 51 리어 하우징
[57]
52 제1 결합부 53 프론트 하우징
[58]
54 제2 결합부 60 접착제
[59]
100 압전 튜브 110 광섬유 고정부
[60]
120 주파수 분리부 130 압전 튜브 결합부
[61]
200 광섬유 스캐너

청구범위

[청구항 1]
주사 광섬유 내시경에 있어서, 주사 광섬유 내시경의 하우징(50)과, 상기 하우징 내에는 원통형 압전 튜브(100)가 구비되고, 상기 원통형 압전 튜브의 일단부(101)는 상기 하우징 내면의 소정의 위치에 배치된 압전 튜브 결합부(130)에 물리적으로 고정 결합되며 상기 원통형 압전 튜브의 내부에는 한쪽만 고정된 외팔보 형태의 광섬유 스캐너(200)가 구비되되 상기 광섬유 스캐너의 타단부(206)는 상기 원통형 압전 튜브의 타단부(102)에서 광섬유고정부(110)에 의해 물리적으로 결합되고, 상기 광섬유 스캐너의 일단부(205)는 자유단이며 이때 상기 광섬유고정부(110)에 의해 고정되는 광섬유 스캐너는 상기 광섬유고정부에서 돌출된 형태로 상기 광섬유고정부(110)와 결합된 주파수 분리부(120)를 통과하도록 배치된 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 2]
제1항에 있어서 상기 압전 튜브(100)에는 전류를 인가하는 전선이 연결되되 상기 압전 튜브의 중심축을 z 축이라 하고 상기 z 축에 수직이면서 상기 압전 튜브의 단면에 대해 평행하며 서로 수직 축을 x축과 y축이라 할 때 상기 압전 튜브가 상기 하우징에 고정 결합된 일단부(101)에 대해 상기 압전 튜브의 타단부(102)가 상기 x축 혹은 y축 방향으로 휘어져 변형이 이루어지도록 상기 전선이 배치되어 전원이 인가되는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 3]
제2항에 있어서 상기 주파수 분리부(120)는 상기 광섬유 스캐너를 감싸는 원기둥 형태로서, 상기 주파수 분리부는 x축방향의 탄성계수와 y축방향의 탄성계수를 서로 다르게 형성됨에 따라 상기 압전 튜브의 거동에 의해 상기 광섬유 스캐너의 일단부(205)는 리사쥬 형태로 거동하는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 4]
제2항에 있어서 상기 광섬유 스캐너의 외경을 감싸는 상기 주파수 분리부는 상기 광섬유 스캐너와 접착제로 부착되고, 또한 상기 주파수 분리부의 타단부는 상기 광섬유고정부(110)와 접착제로 부착되어 상기 광섬유 스캐너가 진동할 때 상기 주파수 분리부도 함께 진동하는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 5]
제4항에 있어서 상기 주파수 분리부의 단면 형상은 상기 x축방향의 곡률과 상기 y 축방향의 곡률이 다르게 형성됨에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시키는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 6]
제4항에 있어서 상기 주파수 분리부의 단면에서 상기 x축방향의 재질과 상기 y 축방향의 재질을 이종의 재질을 적용함에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시키는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 7]
제4항에 있어서 상기 주파수 분리부의 단면에서 상기 x축방향이 길이와 상기 y 축방향의 길이를 서로 다르게 적용함에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시키는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 8]
제4항에 있어서 상기 주파수 분리부의 단면에서 상기 x축방향의 단면 끝부분을 형성하는 면의 곡률과 상기 y 축방향의 단면 끝부분을 형성하는 면의 곡률을 서로 다르게 적용함에 따라 x축방향의 탄성도와 y축방향의 탄성도를 서로 다르게 형성시키는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.
[청구항 9]
제5항 내지 8항 중 한 항에 있어서 상기 압전 튜브의 z축방향의 길이를 L 이라하고, 상기 주파수 분리부의 z축방향의 길이를 L1 라 하며, 광섬유 스캐너의 상기 광섬유고정부에서 자유단까지의 길이를 L2 라 할 때 L1 < L < L2 또는 L<L1<L2로 형성되는 것을 특징으로 하는 파이버 스캐닝 시스템.

도면

[도1]

[도2]

[도3]

[도4]

[도5]