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1. WO2020110796 - THERMAL CONDUCTIVITY ESTIMATION METHOD, THERMAL CONDUCTIVITY ESTIMATION DEVICE, PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL PRODUCT, THERMAL CONDUCTIVITY COMPUTATION DEVICE, THERMAL CONDUCTIVITY COMPUTATION PROGRAM, AND, THERMAL CONDUCTIVITY COMPUTATION METHOD

Publication Number WO/2020/110796
Publication Date 04.06.2020
International Application No. PCT/JP2019/045041
International Filing Date 18.11.2019
IPC
G01N 25/18 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
25Investigating or analysing materials by the use of thermal means
18by investigating thermal conductivity
C30B 35/00 2006.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
35Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
CPC
C30B 35/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
35Apparatus in general, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or a homogeneous polycrystalline material with defined structure
G01N 25/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
25Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
18by investigating thermal conductivity
Applicants
  • 株式会社SUMCO SUMCO CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 横山 竜介 YOKOYAMA Ryusuke
  • 藤原 俊幸 FUJIWARA Toshiyuki
  • 樋口 雄介 HIGUCHI Yusuke
  • 宇治原 徹 UJIHARA Toru
Agents
  • 特許業務法人樹之下知的財産事務所 KINOSHITA & ASSOCIATES
Priority Data
2018-22261828.11.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) THERMAL CONDUCTIVITY ESTIMATION METHOD, THERMAL CONDUCTIVITY ESTIMATION DEVICE, PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL PRODUCT, THERMAL CONDUCTIVITY COMPUTATION DEVICE, THERMAL CONDUCTIVITY COMPUTATION PROGRAM, AND, THERMAL CONDUCTIVITY COMPUTATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ D'ESTIMATION DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE, ET DISPOSITIF D'ESTIMATION DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE PRODUIT CRISTALLIN SEMI-CONDUCTEUR, DISPOSITIF DE CALCUL DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE, PROGRAMME DE CALCUL DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE, ET PROCÉDÉ DE CALCUL DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE
(JA) 熱伝導率推定方法、熱伝導率推定装置、半導体結晶製品の製造方法、熱伝導率演算装置、熱伝導率演算プログラム、および、熱伝導率演算方法
Abstract
(EN)
A thermal conductivity estimation method comprising: a step in which a portion of a measurement sample is heated under a prescribed heating condition, and a surface temperature distribution of the measurement sample in a steady state is measured; a step in which a heat transfer simulation is executed for a plurality of combinations of the heating condition and a provisional thermal conductivity of a sample model having the same form as the measurement sample, and the surface temperature distribution of the sample model is calculated for each combination; a step in which a regression model is generated using a machine learning method, in which the plurality of combinations and calculation results for the temperature distributions obtained from said plurality of combinations is set as training data, an input is set as a measurement sample surface temperature distribution, and an output is set as the thermal conductivity of the measurement sample; and, a step in which a measurement sample surface temperature distribution measurement result is input into the regression model, and the thermal conductivity of the measurement sample is estimated.
(FR)
L'invention concerne un procédé d'estimation de conductivité thermique comprenant : une étape dans laquelle une portion d'un échantillon de mesure est chauffée dans une condition de chauffage prescrite, et une distribution de la température de surface de l'échantillon de mesure dans un état stable est mesurée ; une étape dans laquelle une simulation de transfert de chaleur est exécutée pour une pluralité de combinaisons de l'état de chauffage et d'une conductivité thermique provisoire d'un modèle d'échantillon ayant la même forme que l'échantillon de mesure, et la distribution de la température de surface du modèle d'échantillon est calculée pour chaque combinaison ; une étape dans laquelle un modèle de régression est généré à l'aide d'un procédé d'apprentissage automatique, dans lequel la pluralité de combinaisons et les résultats de calcul pour les distributions de la température obtenues à partir de ladite pluralité de combinaisons sont définis en tant que données d'entraînement, une entrée est définie en tant que distribution de la température de surface d'échantillon de mesure et une sortie est définie comme étant la conductivité thermique de l'échantillon de mesure ; et une étape dans laquelle un résultat de mesure de distribution de la température de surface d'échantillon de mesure est entré dans le modèle de régression, et la conductivité thermique de l'échantillon de mesure est estimée.
(JA)
熱伝導率推定方法は、測定試料の一部を所定の加熱条件で加熱して、定常状態における測定試料の表面の温度分布を測定するステップと、測定試料と同じ形状の試料モデルの仮の熱伝導率および加熱条件の複数の組み合わせについて伝熱シミュレーションを実施して各組み合わせについて試料モデル表面の温度分布を計算するステップと、前記複数の組み合わせおよび当該複数の組み合わせから得られた温度分布の計算結果を訓練データとして、入力を測定試料表面の温度分布とし、出力を測定試料の熱伝導率とする回帰モデルを機械学習法を用いて作成するステップと、測定試料表面の温度分布測定結果を回帰モデルに入力して、測定試料の熱伝導率を推定するステップとを備えている。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau