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1. WO2020110286 - UNIT MANAGEMENT DEVICE AND UNIT MANAGEMENT METHOD

Publication Number WO/2020/110286
Publication Date 04.06.2020
International Application No. PCT/JP2018/044158
International Filing Date 30.11.2018
IPC
H05K 13/00 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
13Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
H05K 13/04 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
13Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
04Mounting of components
CPC
H05K 13/00
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
13Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
H05K 13/04
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
13Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
04Mounting of components ; , e.g. of leadless components
Applicants
  • 株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 鈴木 大樹 SUZUKI Daiki
  • 岩▲崎▼ 正隆 IWASAKI Masataka
Agents
  • 特許業務法人 共立 KYORITSU INTERNATIONAL
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) UNIT MANAGEMENT DEVICE AND UNIT MANAGEMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE GESTION DE DONNÉES ET PROCÉDÉ DE GESTION DE DONNÉES
(JA) ユニット管理装置およびユニット管理方法
Abstract
(EN)
A unit management device according to the present invention manages an actuator unit that is detachably provided to a substrate processing machine for performing a prescribed substrate process on a substrate, and that comprises an actuating part, an actuated part that is actuated by the actuating part, and a storage device. The unit management device is provided with a reference value acquiring part, a current value acquiring part, and an assessment part. The reference value acquiring part acquires, from the storage device of the actuator unit, a reference value used to assess whether the actuated part requires maintenance. The current value acquiring part actuates the actuating part to acquire a current value for the actuation state of the actuated part. On the basis of the reference value acquired by the reference value acquiring part and the actuation state current value acquired by the current value acquiring part, the assessment part assesses whether the actuated part requires maintenance.
(FR)
Dispositif de gestion d'unité selon la présente invention qui gère une unité d'actionneur est fournie de façon détachable à une machine de traitement de substrat pour effectuer un traitement de substrat prescrit sur un substrat et qui comprend un élément d'actionnement, un élément actionné qui est actionné par l'élément d'actionnement ainsi qu'un dispositif de stockage. Le dispositif de gestion d'unité est pourvu d'un élément d'acquisition de valeur de référence, d'un élément d'acquisition de valeur de courant et d'un élément d'évaluation. L'élément d'acquisition de valeur de référence acquiert, à partir du dispositif de stockage de l'unité d'actionneur, une valeur de référence utilisée pour évaluer si l'élément actionné nécessite une maintenance. L'élément d'acquisition de valeur de courant actionne l'élément d'actionnement pour acquérir une valeur de courant pour l'état d'actionnement de l'élément actionné. Sur la base de la valeur de référence acquise par l'élément d'acquisition de valeur de référence et de la valeur de courant d'état d'actionnement acquise par l'élément d'acquisition de valeur de courant, l'élément d'évaluation évalue si l'élément actionné nécessite une maintenance.
(JA)
ユニット管理装置は、基板に所定の対基板作業を行う対基板作業機に着脱可能に設けられ、かつ、駆動部と駆動部によって駆動される被駆動部と記憶装置とを備える駆動ユニットを管理する。ユニット管理装置は、基準値取得部と、現在値取得部と、判断部とを具備する。基準値取得部は、被駆動部のメンテナンスの要否を判断する際に用いる基準値を、駆動ユニットの記憶装置から取得する。現在値取得部は、駆動部を駆動させて被駆動部の駆動状態の現在値を取得する。判断部は、基準値取得部によって取得された基準値と現在値取得部によって取得された駆動状態の現在値とに基づき被駆動部のメンテナンスの要否を判断する。
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