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1. WO2020090206 - IMAGE PROCESSING METHOD AND IMAGE PROCESSING DEVICE

Publication Number WO/2020/090206
Publication Date 07.05.2020
International Application No. PCT/JP2019/033372
International Filing Date 26.08.2019
IPC
H01J 37/22 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
G06T 7/00 2017.01
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
H01L 21/66 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66Testing or measuring during manufacture or treatment
Applicants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 小林 真二 KOBAYASHI, Shinji
Agents
  • 金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo
  • 萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi
  • 扇田 尚紀 OGITA, Naoki
  • 三根 卓也 MINE, Takuya
Priority Data
2018-20645801.11.2018JP
2019-02314513.02.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) IMAGE PROCESSING METHOD AND IMAGE PROCESSING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'IMAGE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'IMAGE
(JA) 画像処理方法及び画像処理装置
Abstract
(EN)
This image processing method for processing an image, comprises: a step (A) for acquiring a plurality of frame images that each are obtained in a single scanning of an imaging object with a charged particle beam; a step (B) for determining, from the plurality of frame images, luminance probability distributions for respective pixels; and a step (C) for generating an image which is of the imaging object and which corresponds to an image obtained by averaging another plurality of frame images generated on the basis of the luminance probability distributions of the respective pixels.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de traitement d'image pour traiter une image, comprenant : une étape (A) consistant à acquérir une pluralité d'images de trame qui sont obtenues chacune en un seul balayage d'un objet d'imagerie avec un faisceau de particules chargées; une étape (B) consistant à déterminer, à partir de la pluralité d'images de trame, des distributions de probabilité de luminance pour des pixels respectifs; et une étape (C) consistant à générer une image qui est une image de l'objet d'imagerie et qui correspond à une image obtenue par établissement d'une moyenne d'une autre pluralité d'images de trame générées sur la base des distributions de probabilité de luminance des pixels respectifs.
(JA)
画像を処理する画像処理方法であって、(A)撮像対象に対する1回の荷電粒子線の走査で得られるフレーム画像を、複数取得するステップと、(B)複数の前記フレーム画像から、画素毎に、輝度の確率分布を判定するステップと、(C)画素毎の前記輝度の確率分布に基づいて生成される複数の別のフレーム画像を平均化した画像に相当する撮像対象の画像を生成するステップと、を有する。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau