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1. WO2020087973 - MEMS SOLENOID TRANSFORMER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

Publication Number WO/2020/087973
Publication Date 07.05.2020
International Application No. PCT/CN2019/095066
International Filing Date 08.07.2019
IPC
H01F 17/00 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
17Fixed inductances of the signal type
H01F 27/245 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
27Details of transformers or inductances, in general
24Magnetic cores
245made from sheets, e.g. grain-oriented
Applicants
  • 北京航空航天大学 BEIHANG UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventors
  • 徐天彤 XU, Tiantong
  • 陶智 TAO, Zhi
  • 李海旺 LI, Haiwang
  • 吴瀚枭 WU, Hanxiao
Agents
  • 北京路浩知识产权代理有限公司 CN-KNOWHOW INTELLECTUAL PROPERTY AGENT LIMITED
Priority Data
201811278308.730.10.2018CN
201811278321.230.10.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MEMS SOLENOID TRANSFORMER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) TRANSFORMATEUR À SOLÉNOÏDE MEMS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(ZH) 一种MEMS螺线管变压器及其制造方法
Abstract
(EN)
The embodiments of the present application provide an MEMS solenoid transformer, comprising: a silicon substrate, a soft magnet core, a first solenoid and a second solenoid; the soft magnet core is wrapped inside the silicon substrate, the silicon substrate is provided with a first helical channel and a second helical channel, and two opposite sides of the soft magnet core respectively pass through the center of the first helical channel and the center of the second helical channel, and the first solenoid and the second solenoid are respectively provided in the first helical channel and the second helical channel. Providing the soft magnet core, the first solenoid and the second solenoid of the transformer inside the silicon substrate fully utilizes the thickness of the silicon substrate, obtaining a larger winding cross-sectional area of the transformer, and a higher magnetic flux, so that the inductance value of the transformer is higher; moreover, the silicon substrate is able to protect the soft magnet core, the first solenoid and the second solenoid, improving the strength of the transformer, and providing a good resistance to shock.
(FR)
Les modes de réalisation de la présente invention concernent un transformateur à solénoïde MEMS, comprenant: un substrat au silicium, un noyau d'aimant doux, un premier solénoïde et un second solénoïde; le noyau d'aimant doux est enroulé à l'intérieur du substrat au silicium, le substrat au silicium est pourvu d'un premier canal hélicoïdal et d'un second canal hélicoïdal, et deux côtés opposés du noyau d'aimant doux passent respectivement à travers le centre du premier canal hélicoïdal et le centre du second canal hélicoïdal, et le premier solénoïde et le second solénoïde sont respectivement disposés dans le premier canal hélicoïdal et le second canal hélicoïdal. L'emploi du noyau d'aimant doux, du premier solénoïde et du second solénoïde du transformateur à l'intérieur du substrat au silicium permet d'utiliser pleinement l'épaisseur du substrat au silicium, produisant ainsi une plus grande surface de section transversale d'enroulement du transformateur, et un flux magnétique plus élevé, de sorte que la valeur d'inductance du transformateur se trouve plus élevée; en outre, le substrat au silicium est apte à protéger le noyau d'aimant doux, le premier solénoïde et le second solénoïde, à améliorer la résistance du transformateur, et à assurer une bonne résistance au choc.
(ZH)
本申请实施例提供了一种MEMS螺线管变压器,包括:硅衬底、软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管;其中,软磁铁芯包裹在硅衬底内部,硅衬底上设置有第一螺旋孔道和第二螺旋孔道,且软磁铁芯的两个相对的边分别穿过第一螺旋孔道的中心和第二螺旋孔道的中心,第一螺线管及第二螺线管分别设置在第一螺旋孔道和第二螺旋孔道中。通过将变压器的软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管全部设置在硅衬底的内部,充分利用了硅衬底的厚度,得到的变压器的绕组横截面积更大,磁通量更高,使得变压器的电感值高;同时,硅衬底能够对软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管起到保护作用,提高了变压器的强度,抗冲击性能好。
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