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1. WO2020080508 - ALIGNMENT SYSTEM AND POSITION ADJUSTING SEAL

Publication Number WO/2020/080508
Publication Date 23.04.2020
International Application No. PCT/JP2019/041027
International Filing Date 18.10.2019
IPC
H01J 37/22 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/20 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
CPC
H01J 2237/20285
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
20278Motorised movement
20285computer-controlled
H01J 2237/221
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
22Treatment of data
221Image processing
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
H01J 37/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/265
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
261Details
265Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Applicants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
  • 国立研究開発法人理化学研究所 RIKEN [JP]/[JP]
Inventors
  • 前田 躍 MAEDA Yaku
  • 星野 吉延 HOSHINO Yoshinobu
  • 豊岡 公徳 TOYOOKA Kiminori
Agents
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
Priority Data
2018-19770819.10.2018JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ALIGNMENT SYSTEM AND POSITION ADJUSTING SEAL
(FR) SYSTÈME D'ALIGNEMENT ET SCEAU DE RÉGLAGE DE POSITION
(JA) アライメントシステム及び位置合わせ用シール
Abstract
(EN) The present invention implements an alignment system which has high reproducibility of position information at the time of re-observation, and enables a user to efficiently and easily re-observe an area of interest. In the alignment system which enables correlated observation between an image capturing device (104) and a charged particle ray device (100), a plurality of position adjustment points are set on a sample carrier in a state where the samples are placed. An alignment control unit (153) obtains a conversion matrix for converting a coordinate system of the image capturing device and a coordinate system of the charged particle ray device, on the basis of position information and magnification for each of the plurality of position adjustment points when a first image is captured by the image capturing device and position information and magnification for each of the plurality of position adjustment points when observation is performed by the charged particle ray device, and converts a field of view designated for the first image to field-of-view information about the charged particle ray device by using the conversion matrix.
(FR) Dans un mode de réalisation, la présente invention concerne un système d'alignement qui présente une haute reproductibilité d'informations de position au moment d'une ré-observation, et permet à un utilisateur de ré-observer efficacement et facilement une zone d'intérêt. Dans le système d'alignement, qui permet une observation corrélée entre un dispositif de capture d'image (104) et un dispositif à faisceau de particules chargées (100), une pluralité de points de réglage de position sont établis sur un porte-échantillon dans un état dans lequel les échantillons sont placés. Une unité de commande d'alignement (153) obtient une matrice de conversion permettant de convertir un système de coordonnées du dispositif de capture d'image et un système de coordonnées du dispositif à faisceau de particules chargées, sur la base d'informations de position et d'un grossissement pour chaque point de la pluralité de points de réglage de position lorsqu'une première image est capturée par le dispositif de capture d'image, et d'informations de position et d'un grossissement pour chaque point de la pluralité de points de réglage de position lorsqu'une observation est effectuée par le dispositif à faisceau de particules chargées, et convertit un champ de vision désigné pour la première image en informations de champ de vision concernant le dispositif à faisceau de particules chargées à l'aide de la matrice de conversion.
(JA) 再観察時の位置情報の再現性の高いアライメントシステムを実現し、ユーザが効率的かつ容易に、関心のある領域を再観察することを可能とする。撮像装置(104)と荷電粒子線装置(100)との相関観察を可能とするアライメントシステムにおいて、複数の位置合わせ点が、試料が載置された状態での試料キャリアに設定され、アライメント制御部(153)は、撮像装置により第1の画像が撮像されるときにおける複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率及び、荷電粒子線装置により観察するときにおける複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率に基づき、撮像装置の座標系と荷電粒子線装置の座標系を変換する変換行列を求め、第1の画像に対して指定された視野に対して変換行列を使用し、荷電粒子線装置の視野情報に変換する。
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