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1. WO2020071306 - PARTICLE MEASURING DEVICE, CALIBRATION METHOD, AND MEASURING DEVICE

Publication Number WO/2020/071306
Publication Date 09.04.2020
International Application No. PCT/JP2019/038490
International Filing Date 30.09.2019
IPC
G01N 15/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
02Investigating particle size or size distribution
G01N 15/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
CPC
G01N 15/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
G01N 15/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
02Investigating particle size or size distribution
Applicants
  • 国立研究開発法人産業技術総合研究所 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP]/[JP]
  • リオン株式会社 RION CO., LTD. [JP]/[JP]
  • 東芝メモリ株式会社 TOSHIBA MEMORY CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 加藤 晴久 KATO, Haruhisa
  • 松浦 有祐 MATSUURA, Yusuke
  • 中村 文子 NAKAMURA, Ayako
  • 近藤 郁 KONDO, Kaoru
  • 田渕 拓哉 TABUCHI, Takuya
  • 冨田 ▲寛▼ TOMITA, Hiroshi
  • 林 秀和 HAYASHI, Hidekazu
Agents
  • 奥町 哲行 OKUMACHI Tetsuyuki
Priority Data
2018-18891904.10.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) PARTICLE MEASURING DEVICE, CALIBRATION METHOD, AND MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE PARTICULES, PROCÉDÉ D'ÉTALONNAGE ET DISPOSITIF DE MESURE
(JA) 粒子測定装置、較正方法、および測定装置
Abstract
(EN)
The objective of the present invention is to enable calibration of a measuring device which captures an image of a target object such as a particle of interest to be performed simply, using a calibration particle. An image analyzing unit (21) acquires a plurality of captured images obtained with a time interval Δt, and (a), in a calibration mode, determines a mean squared displacement ΔMS-cal of a pixel-unit bright spot in a calibration particle, on the basis of the displacement of the bright spot in the calibration particle in the plurality of captured images, and (b), in a measuring mode, determines a mean squared displacement ΔMS of a bright spot in particle of interest, on the basis of the pixel-unit displacement of the bright spot in the particle of interest in the plurality of captured images. Furthermore, (c), in an analysis mode, a particle diameter analyzing unit (22) derives a particle diameter d of the particle of interest from the mean squared displacement ΔMS of the bright spot in the particle of interest, on the basis of the mean squared displacement ΔMS-cal of the bright spot in the calibration particle, and a particle diameter dcal of the calibration particle.
(FR)
La présente invention vise à permettre de réaliser de manière simple l'étalonnage d'un dispositif de mesure qui capture une image d'un objet cible tel qu'une particule d'intérêt, à l'aide d'une particule d'étalonnage. Une unité d'analyse d'image (21) acquiert une pluralité d'images capturées obtenues avec un intervalle de temps Δt, et (a), dans un mode d'étalonnage, détermine un déplacement quadratique moyen ΔMS-cal d'un point lumineux d'unité de pixel dans une particule d'étalonnage, sur la base du déplacement du point lumineux dans la particule d'étalonnage dans la pluralité d'images capturées, et (b), dans un mode de mesure, détermine un déplacement quadratique moyen ΔMS d'un point lumineux dans une particule d'intérêt, sur la base du déplacement d'unité de pixel du point lumineux dans la particule d'intérêt dans la pluralité d'images capturées. En outre, (c), dans un mode d'analyse, une unité d'analyse de diamètre de particule (22) dérive un diamètre de particule d de la particule d'intérêt à partir du déplacement quadratique moyen ΔMS du point lumineux dans la particule d'intérêt, sur la base du déplacement quadratique moyen ΔMS-cal du point lumineux dans la particule d'étalonnage, et d'un diamètre de particule dcal de la particule d'étalonnage.
(JA)
目的粒子などの対象物を撮像する測定装置の較正を、較正用粒子を使用して簡単に行えるようにする。画像解析部(21)は、時間間隔Δtで得られた複数の撮像画像を取得し、(a)較正モードにおいて、その複数の撮像画像における較正用粒子の画素単位の輝点の変位に基づいて較正用粒子の輝点の平均二乗変位ΔMS-calを特定し、(b)測定モードにおいて、その複数の撮像画像における目的粒子の輝点の画素単位の変位に基づいて目的粒子の輝点の平均二乗変位ΔMSを特定する。そして、粒子径解析部(22)は、(c)解析モードにおいて、較正用粒子の輝点の平均二乗変位ΔMS-calおよび較正用粒子の粒子径dcalに基づいて、目的粒子の輝点の平均二乗変位ΔMSから目的粒子の粒子径dを導出する。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau