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1. WO2020070942 - RESONATOR AND RESONANCE DEVICE

Publication Number WO/2020/070942
Publication Date 09.04.2020
International Application No. PCT/JP2019/027553
International Filing Date 11.07.2019
IPC
H03H 9/24 2006.01
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
24Constructional features of resonators of material which is not piezo-electric, electrostrictive, or magnetostrictive
CPC
H03H 9/24
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
24Constructional features of resonators of material which is not piezo-electric, electrostrictive, or magnetostrictive
Applicants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 森 敦史 MORI, Atsushi
Agents
  • 稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki
  • 大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi
Priority Data
2018-19007005.10.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) RESONATOR AND RESONANCE DEVICE
(FR) RÉSONATEUR ET DISPOSITIF DE RÉSONANCE
(JA) 共振子及び共振装置
Abstract
(EN)
The resonator (10) is provided with: a vibratory section (110) having a piezoelectric film (F3), and an upper electrode (E2) and a lower electrode (E1) disposed to face each other across the piezoelectric film (F3); and a mass-addition section (122A) disposed at least at a position where displacement of the vibratory section (110) is relatively large. In a cross-sectional view of the vibratory section (110), the mass-addition section (122A–D) has an inclined surface such that the mass-addition section is thinner at the center than at least at one of edge parts thereof.
(FR)
Le résonateur (10) comprend : une section vibrante (110) ayant un film piézoélectrique (F3), et une électrode supérieure (E2) et une électrode inférieure (E1) disposées de façon à se faire face l'une à l'autre à travers le film piézoélectrique (F3) ; et une section d'addition de masse (122A) disposée au moins dans une position où le déplacement de la section vibratoire (110) est relativement grand. Dans une vue en coupe transversale de la section vibrante (110), la section d'addition de masse (122A–D) a une surface inclinée de telle sorte que la section d'addition de masse est plus mince au centre qu'au moins au niveau de l'un de ses bords.
(JA)
共振子(10)は、圧電膜(F3)、及び、圧電膜(F3)を間に挟んで対向して設けられた上部電極(E2)及び下部電極(E1)を有する振動部(110)と、振動部(110)における変位が相対的に大きい位置に少なくとも設けられた質量付加部(122A)と、を備え、質量付加部(122A~D)は、振動部(110)を断面視したときに中央部が少なくともいずれかの端部よりも薄くなるように傾斜した傾斜面を有する。
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