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1. WO2020070156 - METHOD OF RECORDING AN IMAGE USING A PARTICLE MICROSCOPE

Publication Number WO/2020/070156
Publication Date 09.04.2020
International Application No. PCT/EP2019/076637
International Filing Date 01.10.2019
IPC
G06T 7/246 2017.01
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
20Analysis of motion
246using feature-based methods, e.g. the tracking of corners or segments
CPC
G01N 2223/418
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
40Imaging
418electron microscope
G06T 2207/10061
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
10Image acquisition modality
10056Microscopic image
10061from scanning electron microscope
G06T 7/20
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
20Analysis of motion
G06T 7/246
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
20Analysis of motion
246using feature-based methods, e.g. the tracking of corners or segments
G06T 7/38
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
30Determination of transform parameters for the alignment of images, i.e. image registration
38Registration of image sequences
H01J 37/26
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Applicants
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • ZEIDLER, Dirk
  • KORB, Thomas
  • HÜTHWOHL, Philipp
  • NEUMANN, Jens Timo
  • RIEDESEL, Christof
  • WOJEK, Christian
  • CORREA, Joaquin
  • HÖGELE, Wolfgang
Agents
  • DIEHL & PARTNER GBR
Priority Data
10 2018 124 401.002.10.2018DE
62/888,86619.08.2019US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) METHOD OF RECORDING AN IMAGE USING A PARTICLE MICROSCOPE
(FR) PROCÉDÉ D'ENREGISTREMENT D'UNE IMAGE À L'AIDE D'UN MICROSCOPE À PARTICULES
Abstract
(EN)
A method of recording an image using a particle microscope comprises: recording of plural images of an object, wherein intensity values of image data associated with locations in a coordinate system of the recorded image and with locations on the object; determining regions of interest associated with locations; determining image regions containing regions of interest; determining displacement vectors associated with the image regions determined by correlating the image data associated with a given image region with image data of other image regions also associated with the given region of interest; and generating a resulting image based on the image data of the recorded images, wherein locations in the coordinate system of the resulting image are determined based on the displacement vectors associated with the image regions.
(FR)
La présente invention concerne un procédé d'enregistrement d'une image à l'aide d'un microscope à particules qui consiste à : enregistrer une pluralité d'images d'un objet, des valeurs d'intensité de données d'image étant associées à des emplacements dans un système de coordonnées de l'image enregistrée et à des emplacements sur l'objet ; déterminer des régions d'intérêt associées à des emplacements ; déterminer des régions d'image contenant des régions d'intérêt ; déterminer des vecteurs de déplacement associés aux régions d'image déterminées par corrélation des données d'image associées à une région d'image donnée avec des données d'image d'autres régions d'image également associées à la région d'intérêt donnée ; et produire une image résultante sur la base des données d'image des images enregistrées, des emplacements dans le système de coordonnées de l'image résultante étant déterminés sur la base des vecteurs de déplacement associés aux régions d'image.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau