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1. WO2020066458 - CONTROL METHOD, TRANSPORT SYSTEM, AND COMMUNICATION DEVICE

Publication Number WO/2020/066458
Publication Date 02.04.2020
International Application No. PCT/JP2019/034120
International Filing Date 30.08.2019
IPC
H01L 21/677 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677for conveying, e.g. between different work stations
G05D 1/02 2006.01
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
1Control of position, course, altitude, or attitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
02Control of position or course in two dimensions
CPC
G05D 1/02
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
1Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
02Control of position or course in two dimensions
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
Applicants
  • 村田機械株式会社 MURATA MACHINERY, LTD. [JP]/[JP]
  • サイレックス・テクノロジー株式会社 SILEX TECHNOLOGY, INC. [JP]/[JP]
Inventors
  • 大島 宗訓 OSHIMA, Munekuni
  • 伊藤 靖久 ITO, Yasuhisa
  • 桑原 哲也 KUWAHARA, Tetsuya
Agents
  • 新居 広守 NII, Hiromori
Priority Data
2018-18258427.09.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CONTROL METHOD, TRANSPORT SYSTEM, AND COMMUNICATION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE, SYSTÈME DE TRANSPORT ET DISPOSITIF DE COMMUNICATION
(JA) 制御方法、搬送システム、及び通信デバイス
Abstract
(EN)
In this control method, a controller (20) obtains equipment specification information which specifies a piece of equipment (40) from or to which a transport object is to be transferred, and a transport vehicle (30) obtains vehicle location information which indicates the location of the transport vehicle (30). One of the transport vehicle (30), a specific communication device (10), and the controller (20) calculates the distance between the transport vehicle (30) and the specific communication device (10) on the basis of the transfer location information indicating the location of the specified equipment (40) and the vehicle location information, and determines whether or not the distance is shorter than or equal to a predetermined distance. If it is determined that the distance is shorter than or equal to the predetermined distance, one of the transport vehicle (30) and the specific communication device (10) wirelessly sends a trigger signal for starting wireless communication between the transport vehicle (30) and the specified equipment (40) to the surroundings thereof, so that wireless communication for transferring the transport object between the transport vehicle (30) and the specified equipment (40) is performed.
(FR)
Dans ce procédé de commande de la présente invention, un dispositif de commande (20) obtient des informations de spécification d'équipement qui spécifient une pièce d'équipement (40) à partir de laquelle un objet de transport doit être transféré, et un véhicule de transport (30) obtient des informations d'emplacement de véhicule qui indiquent l'emplacement du véhicule de transport (30). L'un du véhicule de transport (30), d'un dispositif de communication spécifique (10) et du dispositif de commande (20) calcule la distance entre le véhicule de transport (30) et le dispositif de communication spécifique (10) sur la base des informations d'emplacement de transfert indiquant l'emplacement de l'équipement spécifié (40) et des informations d'emplacement de véhicule, et détermine si la distance est inférieure ou égale à une distance prédéterminée. S'il est déterminé que la distance est inférieure ou égale à la distance prédéterminée, l'un du véhicule de transport (30) et du dispositif de communication spécifique (10) envoie sans fil un signal de déclenchement pour démarrer une communication sans fil entre le véhicule de transport (30) et l'équipement spécifié (40) au alentour de celui-ci, de telle sorte qu'une communication sans fil pour transférer l'objet de transport entre le véhicule de transport (30) et l'équipement spécifié (40) est réalisée.
(JA)
制御方法では、コントローラ(20)が搬送物を受け渡しすべき設備(40)を特定する設備特定情報を取得し、搬送台車(30)が搬送台車(30)の位置を示す台車位置情報を取得する。搬送台車(30)と特定の通信デバイス(10)とコントローラ(20)とのうちのいずれかが特定の設備(40)の位置を示す受け渡し位置情報と台車位置情報とに基づいて、搬送台車(30)と特定の通信デバイス(10)との間の距離を算出し、その距離が所定の距離以下であるか否かを判定する。その距離が所定の距離以下であると判定される場合に、搬送台車(30)と特定の通信デバイス(10)とのうちの一方が搬送台車(30)と特定の設備(40)との間で無線通信を開始するためのトリガ信号を無線にて周囲に送信し、搬送台車(30)と特定の設備(40)との間で搬送物を受け渡しするための無線通信が実行される。
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