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1. WO2020064431 - INTEGRATED OPTICAL TRANSDUCER AND METHOD FOR DETECTING DYNAMIC PRESSURE CHANGES

Publication Number WO/2020/064431
Publication Date 02.04.2020
International Application No. PCT/EP2019/074850
International Filing Date 17.09.2019
IPC
G01L 9/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
H04R 23/00 2006.01
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
23Transducers other than those covered by groups H04R9/-H04R21/99
CPC
G01L 9/0077
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0076using photoelectric means
0077for measuring reflected light
H04R 23/008
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
23Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
008using optical signals for detecting or generating sound
H04R 31/00
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
31Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
Applicants
  • AMS INTERNATIONAL AG [CH]/[CH]
Inventors
  • STOJANOVIC, Goran
  • STEELE, Colin
  • HOFRICHTER, Jens
  • LAZAR, Catalin
  • KRAFT, Jochen
Agents
  • EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH
Priority Data
18196899.126.09.2018EP
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) INTEGRATED OPTICAL TRANSDUCER AND METHOD FOR DETECTING DYNAMIC PRESSURE CHANGES
(FR) TRANSDUCTEUR OPTIQUE INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CHANGEMENTS DE PRESSION DYNAMIQUE
Abstract
(EN)
An integrated optical transducer (1) for detecting dynamic pressure changes comprises a micro-electro-mechanical system, MEMS, die (10) having a MEMS diaphragm (11) with a first side (12) exposed to the dynamic pressure changes and a second side (13), and an application-specific integrated circuit, ASIC, die (20) having an optical interferometer assembly. The interferometer assembly comprises a beam splitting element (21) for receiving a source beam (30) from a light source (23) and for splitting the source beam (30) into a probe beam (31) in a first beam path and a reference beam (32) in a second beam path, a beam combining element (22) for combining the probe beam (31) with the reference beam (32) to a superposition beam (33), and a detector (24) configured to generate an electronic interference signal depending on the superposition beam (33). The MEMS die (10) is arranged with respect to the ASIC die (20) such that a gap is formed between the second side (12) of the diaphragm and the ASIC die (20), with the gap defining a cavity (14) and having a gap height. The first beam path of the probe beam (31) comprises coupling into the cavity (14), reflection off of a deflection point or a deflection surface (16) of the diaphragm (11) and coupling out of the cavity (14).
(FR)
La présente invention concerne un transducteur optique intégré (1) servant à détecter des changements de pression dynamique, le transducteur optique intégré (1) comprenant un microsystème électromécanique, MEMS, une puce (10) ayant un diaphragme à MEMS (11) comportant un premier côté (12) exposé aux changements de pression dynamique et un second côté (13), et une puce (20) à circuit intégré à application spécifique, ASIC, dotée d'un ensemble interféromètre optique. L'ensemble interféromètre comprend un élément de division de faisceau (21) servant à recevoir un faisceau de source (30) provenant d'une source de lumière (23) et à diviser le faisceau de source (30) en un faisceau de sonde (31) dans un premier trajet de faisceau et un faisceau de référence (32) dans un second trajet de faisceau, un élément de combinaison de faisceau (22) servant à combiner le faisceau de sonde (31) avec le faisceau de référence (32) en un faisceau de superposition (33), et un détecteur (24) conçu pour générer un signal d'interférence électronique en fonction du faisceau de superposition (33). La puce à MEMS (10) est disposée par rapport à la puce à ASIC (20) de telle sorte qu'un espace est formé entre le second côté (12) du diaphragme et la puce à ASIC (20), l'espace définissant une cavité (14) et ayant une hauteur d'espace. Le premier trajet de faisceau du faisceau de sonde (31) comprend un couplage dans la cavité (14), une réflexion hors d'un point de déviation ou d'une surface de déviation (16) du diaphragme (11) et un couplage hors de la cavité (14).
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau