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1. WO2020009214 - SUBSTRATE TRANSPORTATION ROBOT AND METHOD FOR CONTROLLING SUBSTRATE TRANSPORTATION ROBOT

Publication Number WO/2020/009214
Publication Date 09.01.2020
International Application No. PCT/JP2019/026783
International Filing Date 05.07.2019
Chapter 2 Demand Filed 05.12.2019
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677
for conveying, e.g. between different work stations
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25
HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; HANDLES FOR HAND IMPLEMENTS; WORKSHOP EQUIPMENT; MANIPULATORS
J
MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
15
Gripping heads
08
having finger members
H01L 21/677 (2006.01)
B25J 15/08 (2006.01)
CPC
B25J 15/08
H01L 21/677
Applicants
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
Inventors
  • 吉田 雅也 YOSHIDA, Masaya; --
  • 菅原 潤一 SUGAHARA, Junichi; --
Agents
  • 特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
Priority Data
2018-12922306.07.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) SUBSTRATE TRANSPORTATION ROBOT AND METHOD FOR CONTROLLING SUBSTRATE TRANSPORTATION ROBOT
(FR) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ロボット及びその制御方法
Abstract
(EN)
A substrate transportation robot comprises: a robot body comprising a first substrate loading part for loading a substrate, and a first hand that includes a first substrate holding mechanism for holding and releasing the substrate loaded on the first substrate loading part; and a robot controller. The robot controller operates the first substrate holding mechanism and the first hand so that the first substrate holding mechanism releases the substrate, and the first hand advances from a retreat position to an advance position in a state without the substrate loaded on the first substrate loading part, and in that advance position, loads the substrate mounted on a substrate mounting body on the first substrate loading part, and thereafter retreats to the retreat position, and during the period when the first hand is retreated, has the substrate loaded on the first substrate loading part be held by the first substrate holding mechanism, and controls the speed of the first hand so that the absolute value of a first maximum speed or the absolute value of a first maximum acceleration during a first period from when the first hand starts to retreat until the substrate is held by the first substrate holding mechanism is a lower speed or lower acceleration than the absolute value of a second maximum speed or the absolute value of a second acceleration during a second period from the point when the substrate was held until retreat of the first hand ends.
(FR)
L'invention concerne un robot de transport de substrat comprenant : un corps de robot comprenant une première partie de chargement de substrat pour charger un substrat, et une première main qui comprend un premier mécanisme de maintien de substrat pour maintenir et libérer le substrat chargé sur la première partie de chargement de substrat; et un dispositif de commande de robot. Le dispositif de commande de robot fait fonctionner le premier mécanisme de maintien de substrat et la première main de telle sorte que le premier mécanisme de maintien de substrat libère le substrat, et la première main avance d'une position de retrait à une position d'avance dans un état sans le substrat chargé sur la première partie de chargement de substrat, et dans cette position d'avance, charge le substrat monté sur un corps de montage de substrat sur la première partie de chargement de substrat, puis recule vers la position de retrait, et pendant la période où la première main est retraitée, a le substrat chargé sur la première partie de chargement de substrat maintenu par le premier mécanisme de maintien de substrat, et commande la vitesse de la première main de telle sorte que la valeur absolue d'une première vitesse maximale ou de la valeur absolue d'une première accélération maximale pendant une première période depuis le moment où la première main commence à reculer jusqu'à ce que le substrat soit maintenu par le premier mécanisme de maintien de substrat soit une vitesse inférieure ou une accélération inférieure à la valeur absolue d'une seconde vitesse maximale ou de la valeur absolue d'une seconde accélération pendant une seconde période à partir du point lorsque le substrat était maintenu jusqu'à ce que le retrait des premières extrémités de main soit effectué.
(JA)
基板搬送ロボットは、基板を載せる第1基板載せ部と第1基板載せ部に載せた基板を保持及び解放する第1基板保持機構とを含む第1ハンドを備えるロボット本体と、ロボット制御器と、を備える。ロボット制御器は、第1基板保持機構が基板を解放し、且つ、第1ハンドが、第1基板載せ部に基板を載せていない状態で後退位置から前進位置に前進し、当該前進位置において、基板載置体に載置された基板を第1基板載せ部に載せ、その後、後退位置に後退するよう第1基板保持機構及び第1ハンドを動作させ、第1ハンドが後退する期間において、第1基板載せ部に載せた基板を第1基板保持機構に保持させ、且つ第1ハンドが後退し始めてから第1基板保持機構によって基板が保持された時点までの第1期間における第1最大速度の絶対値又は第1最大加速度の絶対値が、前記基板が保持された時点から前記第1ハンドが後退を終了するまでの第2期間における第2最大速度の絶対値又は第2加速度の絶対値より低速又は低加速度であるように第1ハンドの速度を制御する。
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