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1. WO2020008526 - CHARGED PARTICLE BEAM DETECTOR, ELECTRON MICROSCOPE, ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROSCOPE, AND IMAGING DEVICE

Publication Number WO/2020/008526
Publication Date 09.01.2020
International Application No. PCT/JP2018/025207
International Filing Date 03.07.2018
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/244 (2006.01)
CPC
H01J 37/244
Applicants
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors
  • 小松 正明 KOMATSU Masaaki; JP
  • 今村 伸 IMAMURA Shin; JP
  • 田村 圭司 TAMURA Keiji; JP
  • 鍛示 和利 KAJI Kazutoshi; JP
  • 岡田 聡 OKADA Satoshi; JP
Agents
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES; 東京都港区愛宕二丁目5-1 愛宕グリーンヒルズMORIタワー32階 Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232, JP
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DETECTOR, ELECTRON MICROSCOPE, ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROSCOPE, AND IMAGING DEVICE
(FR) DÉTECTEUR DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE, SPECTROSCOPE DE PERTES D'ÉNERGIE DES ÉLECTRONS ET DISPOSITIF D'IMAGERIE
(JA) 荷電粒子線検出器、電子顕微鏡、電子線エネルギー損失分光装置および撮像装置
Abstract
(EN)
This charged particle beam detector is provided with a laminated body in which a fluorescent layer comprising fluorescent particles and a metal layer are laminated, the charged particle beam detector being characterized by being provided with a resin layer that is disposed between the fluorescent layer and the metal layer.
(FR)
Ce détecteur de faisceau de particules chargées est pourvu d'un corps stratifié dans lequel une couche fluorescente comprenant des particules fluorescentes et une couche métallique sont stratifiées, le détecteur de faisceau de particules chargées étant caractérisé en ce qu'il est pourvu d'une couche de résine qui est disposée entre la couche fluorescente et la couche métallique.
(JA)
荷電粒子線検出器であって、蛍光体粒子よりなる蛍光層と、金属層とが積層された積層体を備える荷電粒子線検出器において、前記金属層および前記蛍光層の間に設けられた樹脂層を備えることを特徴とする。
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