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1. WO2020008125 - HERMETIC PACKAGE COMPRISING A GETTER, PART COMPRISING SUCH A HERMETIC PACKAGE, AND ASSOCIATED MANUFACTURING PROCESS

Publication Number WO/2020/008125
Publication Date 09.01.2020
International Application No. PCT/FR2019/051493
International Filing Date 19.06.2019
Chapter 2 Demand Filed 16.01.2020
IPC
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
7
Micro-structural systems
B81B 7/00 (2006.01)
CPC
B81B 7/0038
Applicants
  • LYNRED [FR/FR]; Avenue de la Vauve 91120 PALAISEAU, FR
Inventors
  • LEMETTRE, Sylvain; FR
  • BUNEL, David; FR
Agents
  • VUILLERMOZ, Bruno; FR
  • PALIX, Stéphane; FR
  • BUCHET, Anne; FR
  • DENJEAN, Eric; FR
  • SEMAOUNE, Idriss; FR
Priority Data
185622306.07.2018FR
Publication Language French (FR)
Filing Language French (FR)
Designated States
Title
(EN) HERMETIC PACKAGE COMPRISING A GETTER, PART COMPRISING SUCH A HERMETIC PACKAGE, AND ASSOCIATED MANUFACTURING PROCESS
(FR) BOITIER HERMETIQUE COMPORTANT UN GETTER, COMPOSANT INTEGRANT UN TEL BOITIER HERMETIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE
Abstract
(EN)
The invention relates to a hermetic package (10) forming a chamber (12) inside which the pressure is low or there is a vacuum, the hermetic package (10) accommodating at least one part (11) in the form of an imaging bolometer and comprising a layer of monolithic getter material (15) capable of trapping gases from within the chamber (12), said layer of getter material (15) having a thickness of 20 to 200 nanometers.
(FR)
L'invention concerne un boîtier hermétique (10) formant une enceinte (12) au sein de laquelle règne une faible pression ou le vide, et recevant au moins un composant (11) de type bolomètre d'imagerie, ledit boîtier hermétique (10) comportant une couche de matériau getter (15) monolithique apte à capter des gaz présents dans ladite enceinte (12); la couche de matériau getter (15) présentant une épaisseur comprise entre 20 nanomètres et 200 nanomètres.
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