Processing

Please wait...

Settings

Settings

1. WO2020007370 - DETECTING DEVICE AND METHOD

Publication Number WO/2020/007370
Publication Date 09.01.2020
International Application No. PCT/CN2019/094976
International Filing Date 08.07.2019
IPC
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
17
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
21
Polarisation-affecting properties
G01N 21/21 (2006.01)
CPC
G01N 21/21
Applicants
  • 深圳中科飞测科技有限公司 SKYVERSE LIMITED [CN/CN]; 中国广东省深圳市 龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 Room 101, 201, 301, No.2 Shanghenglang Fouth Industrial Park, Tongsheng Community, Dalang Sub-District, Longhua District Shenzhen, Guangdong 518110, CN
Inventors
  • 陈鲁 CHEN, Lu; CN
  • 黄有为 HUANG, Youwei; CN
  • 崔高增 CUI, Gaozeng; CN
  • 王天民 WANG, Timmy; CN
Agents
  • 北京永新同创知识产权代理有限公司 NTD UNIVATION INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LTD.; 中国北京市 东城区北三环东路36号北京环球贸易中心C座10层 10th Floor, TowerC, Beijing Global Trade Center, 36 NorthThird Ring Road East, Dongcheng District Beijing 100013, CN
Priority Data
201810737921.406.07.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) DETECTING DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION
(ZH) 一种检测设备及方法
Abstract
(EN)
A detecting device and method. The detecting device (1) acquires, by means of a first detecting apparatus (40), signal light formed after interference occurs between first echo light and second echo light reflected on a surface of an element to be tested (60), so as to obtain first light intensity distribution information of the signal light corresponding to a sampling position on the element to be tested (60), and further obtains the phase distribution of the signal light according to the first light intensity distribution information, thereby obtaining defect distribution data of the element to be tested (60). The first detecting apparatus (40) comprises either two or more polarization detectors or a non-polarization detector and at least one polarization detector. The detecting device may effectively analyze the polarization state of the signal light, precisely detect the element to be tested (60) in the longitudinal direction, and has advantages such as good reliability, high stability and fast detection.
(FR)
L'invention concerne un dispositif et un procédé de détection. Le dispositif de détection (1) acquiert, au moyen d'un premier appareil de détection (40), une lumière de signal formée après qu'une interférence se produit entre une première lumière d'écho et une seconde lumière d'écho réfléchies sur une surface d'un élément à tester (60), de façon à obtenir des premières informations de distribution d'intensité de lumière de la lumière de signal correspondant à une position d'échantillonnage sur l'élément à tester (60), et obtient en outre la distribution de phase de la lumière de signal en fonction des premières informations de distribution d'intensité de lumière, ce qui permet d'obtenir des données de distribution de défaut de l'élément à tester (60). Le premier appareil de détection (40) comprend soit deux détecteurs de polarisation ou plus soit un détecteur de non polarisation et au moins un détecteur de polarisation. Le dispositif de détection peut analyser efficacement l'état de polarisation de la lumière de signal, détecter précisément l'élément à tester (60) dans la direction longitudinale, et possède des avantages tels qu'une bonne fiabilité, une stabilité élevée et une détection rapide.
(ZH)
一种检测设备及方法,该检测设备(1)通过第一探测装置(40)获取待测元件(60)表面反射的第一回波光和第二回波光发生干涉后形成的信号光,得到待测元件(60)上采样位置对应的信号光的第一光强分布信息,进一步根据第一光强分布信息得到信号光的相位分布,从而得到待测元件(60)的缺陷分布数据。其中,第一探测装置(40)包括两个以上偏振探测器,或者无偏振探测器和至少一个偏振探测器。该检测设备能够有效地实现信号光的偏振态分析,实现待测元件(60)在纵向上的高精度检测,且可靠性好,稳定性高,检测速度快。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau