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1. WO2020007218 - TWO-DEGREE-OF-FREEDOM HETERODYNE GRATING INTERFEROMETRY MEASUREMENT SYSTEM

Publication Number WO/2020/007218
Publication Date 09.01.2020
International Application No. PCT/CN2019/092922
International Filing Date 26.06.2019
IPC
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
G01B 11/02 (2006.01)
CPC
G01B 11/02
Applicants
  • 清华大学 TSINGHUA UNIVERSITY [CN/CN]; 中国北京市 100084信箱82分箱清华大学专利办公室 Post Box100084 Branch 82, Tsinghua Univeristy, Patent Office Beijing 100084, CN
  • 北京华卓精科科技股份有限公司 BEIJING U-PRECISION TECH CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层 4th Floor, Building 10, Yard 156, Jinghai Fourth Road, Beijing Economic-Technological Development Area, Daxing District Beijing 100176, CN
Inventors
  • 朱煜 ZHU, Yu; CN
  • 张鸣 ZHANG, Ming; CN
  • 王磊杰 WANG, Leijie; CN
  • 杨富中 YANG, Fuzhong; CN
  • 成荣 CHENG, Rong; CN
  • 李鑫 LI, Xin; CN
  • 叶伟楠 YE, Weinan; CN
  • 胡金春 HU, Jinchun; CN
Agents
  • 北京鸿元知识产权代理有限公司 GRANDER IP LAW FIRM; 中国北京市 朝阳区光华路7号汉威大厦东区18A6室 Suite 18A6, East Wing, Hanwei Plaza, No.7 Guanghua Road, Chaoyang District Beijing 100004, CN
Priority Data
201810709970.702.07.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) TWO-DEGREE-OF-FREEDOM HETERODYNE GRATING INTERFEROMETRY MEASUREMENT SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE MESURE D'INTERFÉROMÉTRIE À RÉSEAU HÉTÉRODYNE À DEUX DEGRÉS DE LIBERTÉ
(ZH) 二自由度外差光栅干涉测量系统
Abstract
(EN)
Disclosed is a two-degree-of-freedom heterodyne grating interferometry measurement system, comprising: a single-frequency laser device (1) for emitting a single-frequency laser, wherein the single-frequency laser can be split into a beam of reference light and a beam of measurement light; an interferometer mirror group (3) and a measurement grating (4) for forming a reference interference signal and a measurement interference signal from the reference light and the measurement light; and a receiving optical fiber (5) for receiving the reference interference signal and the measurement interference signal, wherein a core diameter of the receiving optical fiber (5) is less than the width of an interference fringe of the reference interference signal and the measurement interference signal, so that the receiving optical fiber (5) receives a part of the reference interference signal and the measurement interference signal. The measurement system has the advantages of insensitivity to a grating rotation angle error, a small volume, a light weight, facilitating arrangement, etc., and is particularly suitable for a scenario with a higher requirement for an installation error in industrial application.
(FR)
L'invention concerne un système de mesure d'interférométrie à réseau hétérodyne à deux degrés de liberté, comprenant: un dispositif laser monofréquence (1) pour émettre un laser monofréquence, le laser monofréquence pouvant être divisé en un faisceau de lumière de référence et un faisceau de lumière de mesure; un groupe de miroirs d'interféromètre (3) et un réseau de mesure (4) pour former un signal d'interférence de référence et un signal d'interférence de mesure à partir de la lumière de référence et de la lumière de mesure; et une fibre optique de réception (5) pour recevoir le signal d'interférence de référence et le signal d'interférence de mesure, un diamètre de coeur de la fibre optique de réception (5) étant inférieur à la largeur d'une frange d'interférence du signal d'interférence de référence et du signal d'interférence de mesure, de telle sorte que la fibre optique de réception (5) reçoit une partie du signal d'interférence de référence et du signal d'interférence de mesure. Le système de mesure présente les avantages d'une insensibilité à une erreur d'angle de rotation de réseau, d'un petit volume, d'un poids léger, de facilitation d'agencement, etc, et est particulièrement approprié pour un scénario ayant une exigence plus élevée pour une erreur d'installation dans une application industrielle.
(ZH)
一种二自由度外差光栅干涉测量系统,包括:单频激光器(1),用于发出单频激光,单频激光可分束为一束参考光和一束测量光;干涉仪镜组(3)和测量光栅(4),用于将参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号;接收光纤(5),用于接收参考干涉信号和测量干涉信号,该接收光纤(5)的芯径小于参考干涉信号和测量干涉信号的干涉条纹宽度,使得接收光纤(5)接收参考干涉信号和测量干涉信号的局部。该测量系统对光栅转角误差不敏感、体积小、质量轻、便于布置等优点,特别适用于工业应用中对安装误差要求较高的场景。
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