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1. WO2020006956 - METHOD FOR PREVENTING CLOGGING OF VACUUM PUMP PIPELINE AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION MACHINE

Publication Number WO/2020/006956
Publication Date 09.01.2020
International Application No. PCT/CN2018/115304
International Filing Date 14.11.2018
IPC
C CHEMISTRY; METALLURGY
23
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
C
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16
Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition (CVD) processes
44
characterised by the method of coating
C23C 16/44 (2006.01)
CPC
C23C 16/4412
Applicants
  • 惠科股份有限公司 HKC CORPORATION LIMITED [CN/CN]; 中国广东省深圳市 宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼 5th and 7th Floor of Factory Building 1 Jiuzhou Yangguang, Factory Buildings 1, 2, 3 of HKC Industrial Park Privately Operated Industrial Park, Shuitian Village, Shiyan Sub-district, Baoan District Shenzhen, Guangdong 518000, CN
Inventors
  • 单剑锋 SHAN, Jianfeng; CN
Agents
  • 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 CENFO INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国广东省深圳市 南山区粤海街道高新技术产业园北区松坪山路3号奥特讯电力大厦201 201, Auto Electric Power Building, North Zone High-Tech Industrial Park, No. 3, Songping Mountain Road Yuehai Street, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518057, CN
Priority Data
201810724322.904.07.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) METHOD FOR PREVENTING CLOGGING OF VACUUM PUMP PIPELINE AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION MACHINE
(FR) PROCÉDÉ POUR EMPÊCHER L'OBSTRUCTION D'UNE CONDUITE DE POMPE À VIDE ET MACHINE DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
(ZH) 一种防真空泵管路堵塞的方法及化学气相镀膜机
Abstract
(EN)
A method for preventing clogging of a vacuum pump pipeline, comprising the following steps: turning a gas source on to allow a reactant gas to enter a process chamber (2) from the gas source; performing a deposition reaction by a chemical vapor deposition machine in the process chamber (2); after deposition, turning the gas source off, and introducing a heated inert gas into an exhaust pipe (13) connected to a gas outlet of a vacuum pump (1); and turning the vacuum pump (1) on to allow powder dust and exhaust gas in the process chamber (2) to enter into an exhaust gas treatment device via the exhaust pipe (13). Further disclosed is a chemical vapor deposition machine.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour empêcher l'obstruction d'une conduite de pompe à vide, comprenant les étapes suivantes : mise en marche d'une source de gaz pour permettre à un gaz réactif d'entrer dans une chambre de traitement (2) depuis la source de gaz ; mise en œuvre d'une réaction de dépôt par une machine de dépôt chimique en phase vapeur dans la chambre de traitement (2) ; après le dépôt, arrêt de la source de gaz, et l'introduction d'un gaz inerte chauffé dans un tuyau d'échappement (13) relié à une sortie de gaz d'une pompe à vide (1) ; et mise en marche de la pompe à vide (1) pour permettre à la poussière de poudre et au gaz d'échappement dans la chambre de traitement (2) d'entrer dans un dispositif de traitement de gaz d'échappement par l'intermédiaire du tuyau d'échappement (13). L'invention concerne en outre une machine de dépôt en phase vapeur.
(ZH)
一种防真空泵管路堵塞的方法,包括如下步骤:打开气源,反应气体从气源通入制程室(2);制程室(2)中进行化学气相沉膜机镀膜反应;镀膜后,关闭气源,向连接于真空泵(1)出气口的排气管(13)通入加热的惰性气体;打开真空泵(1),制程室(2)中的粉尘及废气经排气管通(13)入废气处理装置。还公开了一种化学气相镀膜机。
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