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1. WO2020005832 - ADAPTIVE CONTROL FOR A POWER GENERATOR

Publication Number WO/2020/005832
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/US2019/038730
International Filing Date 24.06.2019
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
H01J 37/32 (2006.01)
CPC
G05B 13/04
G05B 19/042
G05B 2219/2639
H01J 37/32091
H01J 37/321
H01J 37/32926
Applicants
  • MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810, US
Inventors
  • COUMOU, David J.; US
  • ELNER, Yuriy; null
  • TOE, Aung; US
  • GILL, Daniel M.; US
  • MOUNT, Eldridge M.; US
  • SMITH, Shaun; US
Agents
  • LAFATA, Joseph M.; US
  • BRENNAN, Michael P.; US
Priority Data
16/297,79911.03.2019US
62/690,20226.06.2018US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) ADAPTIVE CONTROL FOR A POWER GENERATOR
(FR) COMMANDE ADAPTATIVE POUR GÉNÉRATEUR D'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
Abstract
(EN)
A power supply control system includes a power generator for providing a signal to a load. The power generator includes a power controller controlling a power amplifier. The power generator includes an adaptive controller for varying the output signal controlling the power amplifier. The adaptive controller compares an error between a measured output and a predicted output to determine adaptive values applied to the power controller. The power generator also includes a sensor that generates an output signal that is digitized and processed. The sensor signal is mixed with a constant K. The constant K is varied to vary the processing of the sensor output signal. The value K may be commutated based on the phase, frequency, or both phase and frequency, and the bandwidth of K is determined by coupled power in the sensor output signal.
(FR)
Un système de commande d'alimentation électrique comprend un générateur d'énergie électrique destiné à fournir un signal à une charge. Le générateur d'énergie électrique comprend un dispositif de commande de puissance commandant un amplificateur de puissance. Le générateur d'énergie électrique comprend un dispositif de commande adaptatif pour faire varier le signal de sortie commandant l'amplificateur de puissance. Le dispositif de commande adaptatif compare une erreur entre une sortie mesurée et une sortie prédite pour déterminer des valeurs adaptatives appliquées au dispositif de commande de puissance. Le générateur d'énergie électrique comprend également un capteur qui génère un signal de sortie qui est numérisé et traité. Le signal de capteur est mélangé avec une constante K. La constante K est modifiée pour faire varier le traitement du signal de sortie de capteur. La valeur K peut être commutée sur la base de la phase, de la fréquence, ou de la phase et de la fréquence, et la bande passante de K est déterminée par la puissance couplée dans le signal de sortie de capteur.
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