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1. WO2020005574 - LIGHT HOMOGENIZING ELEMENTS WITH CORRECTIVE FEATURES

Publication Number WO/2020/005574
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/US2019/037163
International Filing Date 14.06.2019
IPC
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
09
Beam shaping, e.g. changing the cross-sectioned area, not otherwise provided for
G03F 7/20 (2006.01)
G02B 27/09 (2006.01)
CPC
G02B 27/0025
G02B 27/0905
G02B 27/0961
G02B 3/0006
G03F 7/70075
G03F 7/7015
Applicants
  • CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, New York 14831, US
Inventors
  • COBB, Joshua Monroe; US
  • MICHALOSKI, Paul Francis; US
  • STALOFF, Daniel Max; US
Agents
  • BRAY, Kevin L.; US
Priority Data
62/690,39827.06.2018US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) LIGHT HOMOGENIZING ELEMENTS WITH CORRECTIVE FEATURES
(FR) ÉLÉMENTS D'HOMOGÉNÉISATION DE LUMIÈRE DOTÉS DE CARACTÉRISTIQUES CORRECTIVES
Abstract
(EN)
Light homogenizing elements are described. The light homogenizing elements include lens arrays with corrective features designed to improve the uniformity of light fields produced by optical sources. The corrective features include masks placed at selected positions of selected lenslets in a lens array. The corrective features block or reduce the transmission of light through the lens array at the selected position to correct for spatial or angular non-uniformities in a light field produced by an optical source. Illumination systems that include a corrected lens array coupled to a light source produce highly uniform light fields. Applications include microlithography.
(FR)
L'invention concerne des éléments d'homogénéisation de lumière. Les éléments d'homogénéisation de lumière comprennent des réseaux de lentilles ayant des caractéristiques correctives conçues pour améliorer l'uniformité de champs lumineux produits par des sources optiques. Les caractéristiques correctives comprennent des masques placés à des positions sélectionnées de petites lentilles sélectionnées situées dans un réseau de lentilles. Les caractéristiques correctives bloquent ou réduisent la transmission de lumière dans le réseau de lentilles à la position sélectionnée de façon à corriger des non-uniformités spatiales ou angulaires dans un champ lumineux produit par une source optique. Des systèmes d'éclairage qui comprennent un réseau de lentilles corrigées couplé à une source de lumière produisent des champs lumineux hautement uniformes. Les applications comprennent la microlithographie.
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