Processing

Please wait...

Settings

Settings

1. WO2020005484 - SURFACE HEIGHT DETERMINATION OF TRANSPARENT FILM

Publication Number WO/2020/005484
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/US2019/035587
International Filing Date 05.06.2019
IPC
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24
for measuring contours or curvatures
G01B 11/06 (2006.01)
G01B 11/24 (2006.01)
CPC
G01B 11/0608
G01B 11/0675
G01B 11/2441
G01N 2021/8845
G01N 2021/95615
G01N 21/8806
Applicants
  • ONTO INNOVATION INC. [US/US]; 16 Jonspin Raod Wilmington, MA 01887, US
Inventors
  • LYNCH, Graham M.; US
Agents
  • HALBERT, Michael J.; US
Priority Data
16/113,16527.08.2018US
62/690,23026.06.2018US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SURFACE HEIGHT DETERMINATION OF TRANSPARENT FILM
(FR) DÉTERMINATION DE HAUTEUR DE SURFACE D'UN FILM TRANSPARENT
Abstract
(EN)
A surface topography of a sample with a transparent surface layer is measured using surface topographies of a reference sample. The surface topographies of the reference sample are measured before and after the deposition of an opaque film over the surface layer. A surface topography of the sample is measured at the same relative positions as the surface topography measurements of the reference sample. A height difference at multiple corresponding positions on the sample and the pre-opaque film reference sample is determined. The actual surface height of the reference sample at each position is known from the surface topography of the post-opaque reference sample. The actual surface topography of the sample is determined by combining the actual surface heights of the reference sample with the determined height differences. The resulting surface topography of the sample may be used to characterize the sample, such as detecting defects on the sample.
(FR)
Selon la présente invention, une topographie de surface d'un échantillon doté d'une couche de surface transparente est mesurée à l'aide de topographies de surface d'un échantillon de référence. Les topographies de surface de l'échantillon de référence sont mesurées avant et après le dépôt d'un film opaque sur la couche de surface. Une topographie de surface de l'échantillon est mesurée aux mêmes positions relatives que les mesures de topographie de surface de l'échantillon de référence. Une différence de hauteur au niveau de multiples positions correspondantes sur l'échantillon et l'échantillon de référence de film pré-opaque est déterminée. La hauteur de surface réelle de l'échantillon de référence à chaque position est connue à partir de la topographie de surface de l'échantillon de référence post-opaque. La topographie de surface réelle de l'échantillon est déterminée par combinaison des hauteurs de surface réelles de l'échantillon de référence avec les différences de hauteur déterminées. La topographie de surface résultante de l'échantillon peut être utilisée pour caractériser l'échantillon, tel que la détection de défauts sur l'échantillon.
Latest bibliographic data on file with the International Bureau