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1. WO2020005427 - GAP FILL OF IMPRINTED STRUCTURE WITH SPIN COATED HIGH REFRACTIVE INDEX MATERIAL FOR OPTICAL COMPONENTS

Publication Number WO/2020/005427
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/US2019/033711
International Filing Date 23.05.2019
IPC
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
1
Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
10
Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
1
Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
04
made of organic materials, e.g. plastics
G02B 1/10 (2006.01)
G02B 1/04 (2006.01)
CPC
G02B 5/1852
G03F 7/0002
G03F 7/0005
G03F 7/0007
Applicants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors
  • FU, Jinxin; US
  • GODET, Ludovic; US
  • MCMILLAN, Wayne; US
Agents
  • PATTERSON, B. Todd; US
  • VERSTEEG, Steven H.; US
Priority Data
16/120,73304.09.2018US
62/692,24729.06.2018US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) GAP FILL OF IMPRINTED STRUCTURE WITH SPIN COATED HIGH REFRACTIVE INDEX MATERIAL FOR OPTICAL COMPONENTS
(FR) REMPLISSAGE D'ESPACE DE STRUCTURE IMPRIMÉE AVEC UN MATÉRIAU À INDICE DE RÉFRACTION ÉLEVÉ REVÊTU PAR CENTRIFUGATION POUR COMPOSANTS OPTIQUES
Abstract
(EN)
Embodiments of the present disclosure generally relate to a method for forming an optical component, for example, for a virtual reality or augmented reality display device. In one embodiment, the method includes forming a first layer on a substrate, and the first layer has a first refractive index. The method further includes pressing a stamp having a pattern onto the first layer, and the pattern of the stamp is transferred to the first layer to form a patterned first layer. The method further includes forming a second layer on the patterned first layer by spin coating, and the second layer has a second refractive index greater than the first refractive index. The second layer having the high refractive index is formed by spin coating, leading to improved nanoparticle uniformity in the second layer.
(FR)
La présente invention concerne généralement un procédé de formation d'un composant optique, par exemple, pour un dispositif d'affichage de réalité virtuelle ou de réalité augmentée. Dans un mode de réalisation, le procédé comprend la formation d'une première couche sur un substrat, et la première couche a un premier indice de réfraction. Le procédé comprend en outre le pressage d'un poinçon ayant un motif sur la première couche, et le motif du poinçon est transféré à la première couche pour former une première couche à motifs. Le procédé comprend en outre la formation d'une seconde couche sur la première couche à motifs par revêtement par centrifugation, et la seconde couche a un second indice de réfraction supérieur au premier indice de réfraction. La seconde couche ayant l'indice de réfraction élevé est formée par revêtement par centrifugation, conduisant à une uniformité de nanoparticules améliorée dans la seconde couche.
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