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1. WO2020005366 - METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING TEMPERATURE

Publication Number WO/2020/005366
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/US2019/027099
International Filing Date 11.04.2019
IPC
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5
Radiation pyrometry
02
Details
G01J 5/02 (2006.01)
CPC
G01J 5/0007
G01K 7/01
Applicants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors
  • RANISH, Joseph M.; US
Agents
  • PATTERSON, Todd B.; US
  • DOUGHERTY, Chad M.; US
Priority Data
62/689,99426.06.2018US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING TEMPERATURE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR MESURER UNE TEMPÉRATURE
Abstract
(EN)
Apparatuses and methods for measuring substrate temperature are provided. In one or more embodiments, an apparatus for estimating a temperature is provided and includes a plurality of electromagnetic radiation sources positioned to emit electromagnetic radiation toward a reflection plane, and a plurality of electromagnetic radiation detectors. Each electromagnetic radiation detector is positioned to sample the electromagnetic radiation emitted by a corresponding electromagnetic radiation source of the plurality of electromagnetic radiation sources. The apparatus also includes a pyrometer positioned to receive electromagnetic radiation emitted by plurality of electromagnetic radiation sources and reflected from a substrate disposed at a reflection plane and electromagnetic radiation emitted by the substrate. The apparatus includes a processor configured to estimate a temperature of the substrate based on the electromagnetic radiation emitted by the substrate. Methods of estimating temperature are also provided.
(FR)
L'invention concerne des appareils et des procédés pour mesurer une température de substrat. Selon un ou plusieurs modes de réalisation, un appareil destiné à estimer une température est fourni et comprend une pluralité de sources de rayonnement électromagnétique positionnées pour émettre un rayonnement électromagnétique vers un plan de réflexion, et une pluralité de détecteurs de rayonnement électromagnétique. Chaque détecteur de rayonnement électromagnétique est positionné pour échantillonner le rayonnement électromagnétique émis par une source de rayonnement électromagnétique correspondante de la pluralité de sources de rayonnement électromagnétique. L'appareil comprend également un pyromètre positionné pour recevoir un rayonnement électromagnétique émis par une pluralité de sources de rayonnement électromagnétique et réfléchi depuis un substrat disposé au niveau d'un plan de réflexion et un rayonnement électromagnétique émis par le substrat. L'appareil comprend un processeur conçu pour estimer une température du substrat sur la base du rayonnement électromagnétique émis par le substrat. L'invention concerne également des procédés d'estimation de température.
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