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1. (WO2020004190) THERMAL SPRAYING DEVICE
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Pub. No.: WO/2020/004190 International Application No.: PCT/JP2019/024348
Publication Date: 02.01.2020 International Filing Date: 19.06.2019
IPC:
C23C 4/134 (2016.01) ,C23C 4/123 (2016.01) ,H05H 1/34 (2006.01)
[IPC code unknown for C23C 4/134][IPC code unknown for C23C 4/123]
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H
PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1
Generating plasma; Handling plasma
24
Generating plasma
26
Plasma torches
32
using an arc
34
Details, e.g. electrodes, nozzles
Applicants:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventors:
門沢 克治 KADOSAWA, Katsuji; JP
杉原 和佳 SUGIHARA, Kazuyoshi; JP
Agent:
特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都千代田区霞が関3丁目8番1号 虎の門三井ビルディング Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
Priority Data:
2018-12051526.06.2018JP
Title (EN) THERMAL SPRAYING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PULVÉRISATION THERMIQUE
(JA) 溶射装置
Abstract:
(EN) This thermal spraying device comprises a cathode, an anode, and an inner tubing. The cathode is approximately cylindrical and has a flow path which is formed along the center axis and through which a spraying material passes. The anode, disposed opposite the downstream end of the cathode, generates arc discharge plasma with the cathode. The inner tubing: is disposed such that the center axes of the cathode and the anode are substantially matching; and forms at least two flow paths within the cathode. The at least two flow paths formed by the inner tubing include, inside the inner tubing, a first flow path for passing a spraying material along the cathode center axis. The at least two flow paths formed by the inner tubing include, outside the inner tubing, a second flow path which is formed on the radial outer-side of the first flow path, at least a portion of which is surrounded by the cathode, and which is for passing an insulative gas.
(FR) Le dispositif de pulvérisation thermique d'après la présente invention comprend une cathode, une anode et une tubulure interne. La cathode est approximativement cylindrique. Elle comporte un trajet d'écoulement formé le long de l'axe central et par lequel passe un matériau de pulvérisation. L'anode, à l'opposé de l'extrémité aval de la cathode, génère un plasma de décharge d'arc avec la cathode. La tubulure interne est disposée de telle sorte que les axes centraux de la cathode et de l'anode correspondent sensiblement. De plus, la tubulure interne forme au moins deux trajets d'écoulement à l'intérieur de la cathode. Lesdits au moins deux trajets d'écoulement formés par la tubulure interne comptent, à l'intérieur de la tubulure interne, un premier trajet d'écoulement permettant le passage d'un matériau de pulvérisation le long de l'axe central de la cathode. Lesdits au moins deux trajets d'écoulement formés par la tubulure interne comptent, à l'extérieur de la tubulure interne, un second trajet d'écoulement qui est formé sur le côté radial externe du premier trajet d'écoulement, dont au moins une partie est entourée par la cathode et qui est destiné au passage d'un gaz isolant.
(JA) 溶射装置は、カソードと、アノードと、内管とを備える。カソードは略円筒状であり、軸心に沿って溶射材料が通過する流路が形成される。アノードは、カソードの下流端に対向して配置され、カソードとの間にアーク放電によりプラズマを生成する。内管は、カソードおよびアノードの軸心と軸心が略一致するよう配置され、カソード内に少なくとも2つの流路を形成する。内管が形成する少なくとも2つの流路は、当該内管内に、カソードの軸心に沿って溶射材料を通過させる第1の流路を含む。また、内管が形成する少なくとも2つの流路は、当該内管外に、第1の流路の径方向外側に形成され少なくとも一部がカソードに包囲され、断熱ガスを通過させる第2の流路を含む。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)