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1. WO2020004183 - FLOW RATE CONTROL METHOD AND FLOW RATE CONTROL DEVICE

Publication Number WO/2020/004183
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/JP2019/024323
International Filing Date 19.06.2019
IPC
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
D
SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7
Control of flow
06
characterised by the use of electric means
G05D 7/06 (2006.01)
CPC
G05D 7/06
Applicants
  • 株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012, JP
Inventors
  • 平田 薫 HIRATA Kaoru; JP
  • 小川 慎也 OGAWA Shinya; JP
  • 杉田 勝幸 SUGITA Katsuyuki; JP
  • 西野 功二 NISHINO Kouji; JP
  • 池田 信一 IKEDA Nobukazu; JP
Agents
  • 谷田 龍一 TANIDA Ryuichi; JP
Priority Data
2018-12071926.06.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) FLOW RATE CONTROL METHOD AND FLOW RATE CONTROL DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DÉBIT ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT
(JA) 流量制御方法および流量制御装置
Abstract
(EN)
A method for controlling a flow rate while the flow rate is rising, the method using a flow rate control device 100 comprising: a first control valve 6 provided in a flow path; a second control valve 8 provided on the downstream side of the first control valve; and a pressure sensor 3 that measures the fluid pressure on the downstream side of the first control valve and on the upstream side of the second control valve, wherein the method includes (a) a step for deriving the pressure remaining downstream of the first control valve, using a pressure sensor, when the second control valve has been closed, and (b) a step for controlling the pressure remaining downstream of the first control valve and causing fluid to flow at a first flow rate on the downstream side of the second control valve, by adjusting the opening of the second control valve on the basis of the output of the pressure sensor.
(FR)
L'invention concerne un procédé de commande d'un débit alors que le débit augmente, le procédé utilisant un dispositif de commande de débit (100) comprenant : une première soupape de commande (6) disposée sur un trajet d'écoulement ; une seconde soupape de commande (8) disposée du côté aval de la première soupape de commande ; et un capteur de pression (3) qui mesure la pression de fluide du côté aval de la première soupape de commande et du côté amont de la seconde soupape de commande. Le procédé comprend (a) une étape consistant à calculer la pression restant en aval de la première soupape de commande, à l'aide d'un capteur de pression, lorsque la seconde soupape de commande a été fermée, et (b) une étape consistant à commander la pression restant en aval de la première soupape de commande et à amener le fluide à s'écouler avec un premier débit du côté aval de la seconde soupape de commande, en réglant l'ouverture de la seconde soupape de commande sur la base des données de sortie du capteur de pression.
(JA)
流路に設けられた第1コントロール弁6と、第1コントロール弁の下流側に設けられた第2コントロール弁8と、第1コントロール弁の下流側かつ第2コントロール弁の上流側の流体圧力を測定する圧力センサ3とを備えた流量制御装置100を用いて行う、流量立上げ時の流量制御方法であって、(a)第2コントロール弁を閉鎖した状態で、圧力センサを用いて第1コントロール弁の下流に残留する圧力を求めるステップと、(b)圧力センサの出力に基づいて第2コントロール弁の開度を調整することによって、第1コントロール弁下流に残留する圧力を制御し、第2コントロール弁の下流側に第1流量で流体を流すステップとを含む。
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