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1. WO2020004175 - X-RAY DEVICE, X-RAY IMAGE GENERATION METHOD, AND PRODUCTION METHOD FOR STRUCTURE

Publication Number WO/2020/004175
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/JP2019/024299
International Filing Date 19.06.2019
IPC
[IPC code unknown for G01N 23/041]
G01N 23/041 (2018.01)
CPC
G01N 23/041
Applicants
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南二丁目15番3号 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
Inventors
  • 矢野 和弘 YANO, Kazuhiro; JP
Agents
  • 永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
  • 白石 直正 SHIRAISHI, Naomasa; JP
Priority Data
2018-12238727.06.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) X-RAY DEVICE, X-RAY IMAGE GENERATION METHOD, AND PRODUCTION METHOD FOR STRUCTURE
(FR) DISPOSITIFS À RAYONS X, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'IMAGES RADIOLOGIQUES, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION POUR UNE STRUCTURE
(JA) X線装置、X線画像生成方法および構造物の製造方法
Abstract
(EN)
An x-ray device that comprises an x-ray source, a shielding member, an alteration part, a detector, and a generation part. The x-ray source emits x-rays toward an object to be measured. The shielding member: has a passage part that allows x-rays to pass; but blocks x-rays other than at the passage part. The alteration part alters the relative position between the shielding member and the object to be measured in a direction that intersects the advancement direction of the x-rays. The detector outputs, as an output signal, an intensity distribution for x-rays that have passed through the passage part and the object to be measured as in a plurality of positions reached by means of alterations made by the alteration part. The generation part uses the output signal from the detector to generate information about the intensity distribution for the x-rays for a region that is smaller than the size of the passage part in the abovementioned direction.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à rayons X qui comprend une source de rayons X, un élément de blindage, une partie de modification, un détecteur et une partie de génération. La source de rayons X émet des rayons X vers un objet destiné à être mesuré. L'élément de blindage : a une partie de passage qui permet à des rayons X de passer ; mais bloque les rayons X autres qu'au niveau de la partie de passage. La partie de modification modifie la position relative entre l'élément de blindage et l'objet destiné à être mesuré dans une direction qui croise la direction d'avance des rayons X. Le détecteur émet en sortie, sous la forme d'un signal de sortie, une distribution d'intensité pour les rayons X qui ont traversé la partie de passage et l'objet destiné à être mesuré comme dans une pluralité de positions atteintes par des modifications effectuées par la partie de modification. La partie de génération utilise le signal de sortie provenant du détecteur pour générer des informations concernant la distribution d'intensité pour les rayons X pour une région qui est inférieure à la taille de la partie de passage dans la direction mentionnée ci-dessus.
(JA)
X線装置は、被測定物へ向けてX線を出射するX線源と、X線を通過させる通過部を有し、通過部以外でX線を遮蔽する遮蔽部材と、X線の進行方向と交差する方向において、遮蔽部材と被測定物との間の相対的な位置を変更する変更部と、変更部により変更された複数の位置において、通過部および被測定物を通過したX線の強度分布を出力信号として出力する検出器と、検出器からの出力信号を用いて、通過部の方向に沿った大きさよりも小さい大きさの領域におけるX線の強度分布の関する情報を生成する生成部と、を備える。
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