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1. WO2020004164 - EXPOSURE DEVICE AND HEIGHT ADJUSTMENT METHOD

Publication Number WO/2020/004164
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/JP2019/024230
International Filing Date 19.06.2019
IPC
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
G03F 7/20 (2006.01)
CPC
G03F 7/20
Applicants
  • 株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
Inventors
  • 米澤 良 YONEZAWA Makoto; JP
Agents
  • 坂田 ゆかり SAKATA Yukari; JP
Priority Data
2018-12022725.06.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) EXPOSURE DEVICE AND HEIGHT ADJUSTMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE HAUTEUR
(JA) 露光装置および高さ調整方法
Abstract
(EN)
The present invention makes it possible to accurately adjust the height of a light emission part. According to the present invention, a rotational drive part is driven to rotate a pinion (161b), and a support part (15a) that has a rack (161a) that engages the pinion (161b) moves in the height direction. Current is passed through a coil of an electromagnet of a permanent electromagnet (163) that includes the electromagnet and a permanent magnet, the permanent electromagnet (163) attracts the support part (15a) and thereby causes a support-part-side sliding surface (161e) to come into contact with a column-side sliding surface (161d), and the support part (15a) is held in place by the friction between the support-part-side sliding surface (161e) and the column-side sliding surface (161d).
(FR)
La présente invention permet d'ajuster avec précision la hauteur d'une partie d'émission de lumière. Selon la présente invention, une partie d'entraînement en rotation est entraînée de façon à faire tourner un pignon (161b), et une partie de support (15a) dotée d'une crémaillère (161a) et venant en prise avec le pignon (161b) se déplace dans la direction de la hauteur. Le courant traverse une bobine d'un électroaimant d'un électroaimant permanent (163) qui comprend l'électroaimant et un aimant permanent, l'électroaimant permanent (163) attire la partie de support (15a) et fait ainsi entrer en contact une surface coulissante côté partie de support (161e) avec une surface coulissante côté colonne (161d), et la partie de support (15a) est maintenue en place par le frottement entre la surface coulissante côté partie de support (161e) et la surface coulissante côté colonne (161d).
(JA)
光照射部の高さ調整を正確に行うことができる。回転駆動部を駆動してピニオン(161b)を回転させて、ピニオン(161b)と噛み合うラック(161a)が設けられた支持部(15a)を高さ方向に移動する。また、永久磁石と電磁石とを有する永電磁石(163)が有する電磁石のコイルに電流を流し、永電磁石(163)が支持部(15a)を吸着することで支持部側摺動面(161e)と柱側摺動面(161d)とを密着させて、支持部側摺動面(161e)と柱側摺動面(161d)との間の摩擦力により支持部(15a)を固定する。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau