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1. WO2020004055 - VACUUM PUMP, STATOR COLUMN, BASE, AND VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM

Publication Number WO/2020/004055
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/JP2019/023435
International Filing Date 13.06.2019
IPC
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04
POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
D
NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19
Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02
Multi-stage pumps
04
specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F04D 19/04 (2006.01)
CPC
F04D 19/04
Applicants
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventors
  • 樺澤 剛志 KABASAWA Takashi; JP
Priority Data
2018-12176327.06.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) VACUUM PUMP, STATOR COLUMN, BASE, AND VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM
(FR) POMPE À VIDE, COLONNE DE STATOR, BASE ET SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム
Abstract
(EN)
[Problem] To provide: a vacuum pump for accurately measuring the temperature of a rotary part at a low cost; a stator column of the vacuum pump; a base; and a vacuum pump exhaust system. [Solution] In a vacuum pump according to the present embodiment, a screw groove-type seal is provided in a flow path of purge gas on the downstream side of a temperature sensor unit and causes a portion of the purge gas to flow backward towards the temperature sensor unit so that the pressure of the purge gas near the temperature sensor unit increases. By so doing, with a small amount of purge gas, the gas pressure around the temperature sensor unit can be made to be an intermediate flow or a viscous flow, and the total amount of supplied purge gas can be suppressed, thereby contributing to a reduction in cost as a result.
(FR)
La présente invention concerne une pompe à vide permettant de mesurer avec précision et à moindre coût la température d'une pièce rotative ; une colonne de stator de la pompe à vide ; une base ; et un système d'échappement de pompe à vide. Dans la pompe à vide selon le présent mode de réalisation, un joint d'étanchéité du type à rainure filetée est prévu dans un trajet d'écoulement de gaz de purge, du côté aval d'une unité de capteur de température, et amène une partie du gaz de purge à être refoulée vers l'unité de capteur de température de sorte que la pression du gaz de purge augmente à proximité de l'unité de capteur de température. Ainsi, avec une petite quantité de gaz de purge, la pression de gaz autour de l'unité de capteur de température peut être amenée à former un écoulement intermédiaire ou un écoulement visqueux, ce qui rend superflue la quantité totale du gaz de purge et contribue ainsi à réduire les coûts.
(JA)
【課題】精度良く、且つ低コストで回転部の温度を測定する真空ポンプ、真空ポンプのステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システムを提供する。 【解決手段】本実施形態に係る真空ポンプは、パージガスの流路において、温度センサユニットの下流側に、パージガスの一部を温度センサユニット側に逆流させるネジ溝式シールを設け、温度センサユニット付近のパージガスの圧力を上げる。こうすることで、少量のパージガスで、温度センサユニット周りのガス圧力が中間流または粘性流とすることができ、供給するパージガスの総量を抑制でき、結果としてコストダウンに貢献できる。
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