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1. WO2020004023 - MAINTENANCE DEVICE

Publication Number WO/2020/004023
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/JP2019/023190
International Filing Date 12.06.2019
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02
Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
04
the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer, carrier concentration layer
18
the devices having semiconductor bodies comprising elements of the fourth group of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
30
Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20-H01L21/26142
302
to change the physical characteristics of their surfaces, or to change their shape, e.g. etching, polishing, cutting
306
Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
3065
Plasma etching; Reactive-ion etching
H01L 21/3065 (2006.01)
CPC
H01L 21/3065
Applicants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventors
  • 上田 雄大 UEDA, Takehiro; JP
  • 廣瀬 潤 HIROSE, Jun; JP
  • 手塚 一幸 TEZUKA, Kazuyuki; JP
Agents
  • 特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都千代田区霞が関3丁目8番1号 虎の門三井ビルディング Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
Priority Data
2018-11944825.06.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) MAINTENANCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTENANCE
(JA) メンテナンス装置
Abstract
(EN)
This maintenance device has a cover and a fixing member. The cover is in a vacuum atmosphere during substrate processing, is formed in a size corresponding to a boundary line between a first part and a second part of a processing container that can be separated into the first part and the second part, or in a size corresponding to an opening surface formed by separating the first part and the second part, and has airtightness and visual transparency in at least a portion thereof. A fixing member tightly fixes the cover along the boundary line between the first part and the second part of the processing container or to the opening surface formed by separating the first part and the second part.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de maintenance qui a un couvercle et un élément de fixation. Le couvercle est dans une atmosphère sous vide pendant le traitement du substrat, est formé dans une taille correspondant à une ligne de délimitation entre une première partie et une seconde partie d'un récipient de traitement qui peut être séparé en la première partie et la seconde partie, ou dans une taille correspondant à une surface d'ouverture formée par séparation de la première partie et de la seconde partie, et présente une étanchéité à l'air et une transparence visuelle dans au moins une partie de celle-ci. Un élément de fixation fixe étroitement le couvercle le long de la ligne de délimitation entre la première partie et la seconde partie du récipient de traitement ou à la surface d'ouverture formée par séparation de la première partie et de la seconde partie
(JA)
メンテナンス装置は、カバーと、固定部材とを有する。カバーは、基板処理の際に真空雰囲気とされ、第1パーツと第2パーツに分離可能とされた処理容器の第1パーツと第2パーツの境界線または第1パーツと第2パーツとを分離した開口面に対応するサイズに形成され、気密性および少なくとも一部に視覚的透過性を有する。固定部材は、カバーを、処理容器の第1パーツと第2パーツの境界線に沿ってまたは第1パーツと第2パーツとを分離した開口面に密着固定する。
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