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1. WO2020002382 - ELECTRODE ARRANGEMENT FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM

Publication Number WO/2020/002382
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/EP2019/066918
International Filing Date 25.06.2019
IPC
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
C
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19
Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56
Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719
using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733
Structural details or topology
B81B 3/00 (2006.01)
G01C 19/5733 (2012.01)
CPC
B81B 2201/0242
B81B 2203/0136
B81B 2203/04
B81B 3/0086
G01C 19/5733
Applicants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors
  • CARDANOBILE, Stefano; DE
  • PUTNIK, Martin; DE
Priority Data
10 2018 210 487.527.06.2018DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) ELEKTRODENANORDNUNG FÜR EIN MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM, MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM, VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMS
(EN) ELECTRODE ARRANGEMENT FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM
(FR) ENSEMBLE D'ÉLECTRODES POUR UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE, SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE, PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE
Abstract
(DE)
Elektrodenanordnung für ein mikroelektromechanisches System, umfassend eine erste Elektrodenstruktur und eine zweite Elektrodenstruktur, wobei die erste Elektrodenstruktur eine Aufnahme aufweist, wobei die zweite Elektrodenstruktur einen Finger aufweist, wobei die erste und zweite Elektrodenstruktur relativ zueinander zu einer Relativbewegung entlang einer Bewegungsachse ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich eine zur Bewegungsachse senkrechte erste Breite der Aufnahme entlang der Bewegungsachse zumindest in einem ersten Bereich verjüngt und/oder dass sich eine zur Bewegungsachse senkrechte zweite Breite des Fingers entlang der Bewegungsachse zumindest in einem zweiten Bereich verjüngt.
(EN)
The invention relates to an electrode arrangement for a micro-electro-mechanical system, comprising a first electrode structure and a second electrode structure, wherein the first electrode structure has a receptacle, the second electrode structure has a finger, and the first and second electrode structures are designed for relative movement with respect to one another along an axis of movement, characterised in that a first width of the receptacle perpendicular to the axis of movement tapers along the axis of movement at least in a first region, and/or in that a second width of the finger perpendicular to the axis of movement tapers along the axis of movement at least in a second region.
(FR)
L'invention concerne un système micro-électromécanique comprenant une première structure d'électrode et une deuxième structure d'électrode, la première structure d'électrode présentant un logement, la deuxième structure d'électrode présentant un doigt, les première et deuxième structures d'électrodes étant conçues pour se déplacer de façon relative l'une par rapport à l'autre le long d'un axe de déplacement. L'invention est caractérisée en ce qu'une première largeur du logement, laquelle largeur est perpendiculaire à l'axe de déplacement, se rétrécit au moins dans une première zone le long de l'axe de déplacement et/ou en ce qu'une deuxième largeur du doigt, laquelle largeur est perpendiculaire à l'axe de déplacement, se rétrécit au moins dans une deuxième zone le long de l'axe de déplacement.
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