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1. WO2020001467 - MULTI-WAVELENGTH OPTICAL SYSTEM AND LASER ANNEALING DEVICE

Publication Number WO/2020/001467
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/CN2019/092965
International Filing Date 26.06.2019
IPC
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
10
Beam splitting or combining systems
G02B 27/10 (2006.01)
CPC
G02B 27/10
G02B 27/1006
Applicants
  • 上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 中国(上海)自由贸易试验区张东路1525号 No.1525, Zhangdong Road, China (Shanghai) Pilot Free Trade Zone Shanghai 201203, CN
Inventors
  • 徐建旭 XU, Jianxu; CN
  • 兰艳平 LAN, Yanping; CN
Agents
  • 北京品源专利代理有限公司 BEYOND ATTORNEYS AT LAW; 中国北京市 海淀区莲花池东路39号西金大厦6层 F6, Xijin Centre 39 Lianhuachi East Rd., Haidian District Beijing 100036, CN
Priority Data
201810666925.826.06.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MULTI-WAVELENGTH OPTICAL SYSTEM AND LASER ANNEALING DEVICE
(FR) SYSTÈME OPTIQUE À MULTIPLES LONGUEURS D'ONDE ET DISPOSITIF DE RECUIT LASER
(ZH) 一种多波长光学系统和一种激光退火装置
Abstract
(EN)
Disclosed by the present application are a multi-wavelength optical system and a laser annealing device. The multi-wavelength optical system comprises: a reference optical path unit, at least one optical path unit to be adjusted, a focal plane compensation unit, and a focusing unit; wherein one focal plane compensation unit is disposed in each optical path of the optical path unit to be adjusted; the light wavelengths of the reference optical path unit and the optical path unit to be adjusted are not equal; each focal plane compensation unit is configured to change an optical path of the corresponding optical path unit to be adjusted, so that light beams of the optical path unit to be adjusted are focused on a second focal plane after passing through the focusing unit; and light beams of the reference optical path unit are focused on the first focal plane after passing through the focusing unit, and the second focal plane and the first focal plane are of a confocal plane.
(FR)
La présente invention concerne un système optique à multiples longueurs d'onde et un dispositif de recuit laser. Le système optique à multiples longueurs d'onde comprend : une unité de trajet optique de référence, au moins une unité de trajet optique à ajuster, une unité de compensation de plan focal et une unité de focalisation ; une unité de compensation de plan focal étant disposée dans chaque trajet optique de l'unité de trajet optique à ajuster ; les longueurs d'onde de lumière de l'unité de trajet optique de référence et de l'unité de trajet optique à ajuster ne sont pas égales ; chaque unité de compensation de plan focal étant configurée pour modifier un trajet optique de l'unité de trajet optique correspondante à ajuster, de telle sorte que des faisceaux lumineux de l'unité de trajet optique à ajuster sont focalisés sur un second plan focal après avoir traversé l'unité de focalisation ; et les faisceaux lumineux de l'unité de trajet optique de référence sont focalisés sur le premier plan focal après avoir traversé l'unité de focalisation, et le second plan focal et le premier plan focal sont d'un plan confocal.
(ZH)
本申请公开了一种多波长光学系统和一种激光退火装置。此多波长光学系统包括:参考光路单元、至少一个待调节光路单元、焦面补偿单元以及聚焦单元;每个待调节光路单元的光路中均设置有一个焦面补偿单元;参考光路单元与待调节光路单元的光波长不相等;每个焦面补偿单元设置为改变对应待调节光路单元的光路,使待调节光路单元的光束经过聚焦单元后均聚焦于第二焦面;参考光路单元的光束经过聚焦单元后聚焦于第一焦面,第二焦面与第一焦面共焦面。
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