Processing

Please wait...

Settings

Settings

1. WO2020000400 - A METHOD FOR SEM-GUIDED AFM SCAN WITH DYNAMICALLY VARIED SCAN SPEED

Publication Number WO/2020/000400
Publication Date 02.01.2020
International Application No. PCT/CN2018/093761
International Filing Date 29.06.2018
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
H01J 37/26 (2006.01)
CPC
H01J 37/26
Applicants
  • JIANGSU JITRI MICRO-NANO AUTOMATION INSTITUTE CO., LTD. [CN/CN]; Cubicle F003, 3F 58 South Tiancheng Road, High-speed Railway New Town, Xiangcheng District Suzhou, Jiangsu 215000, CN
Inventors
  • SUN, Yu; CA
  • CHEN, Jun; CN
  • CHEN, Ko Lun; CA
  • WANG, Tiancong; CN
Agents
  • CENTRAL SOUTH WELL INTELLECTUAL PROPERTY OFFICE; Room 214, Floor 2, Building B3 No. 18, Jinfang Road, Industrial Park Suzhou, Jiangsu 215000, CN
Priority Data
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) A METHOD FOR SEM-GUIDED AFM SCAN WITH DYNAMICALLY VARIED SCAN SPEED
(FR) PROCÉDÉ DE BALAYAGE DE MICROSCOPE AFM GUIDÉ PAR UN MICROSCOPE SEM AVEC UNE VITESSE DE BALAYAGE À VARIATION DYNAMIQUE
Abstract
(EN)
A method discloses topography information extracted from scanning electron microscope (SEM) images to determine the atomic force microscope (AFM) image scanning speed at each sampling point or in each region on a sample. The method includes the processing of SEM images to extract possible topography features and create a feature metric map(step 1), the conversion of the feature metric map into AFM scan speed map(step 2), and performing AFM scan according to the scan speed map(step 3). The method enables AFM scan with higher scan speeds in areas with less topography feature, and lower scan speeds in areas that are rich in topography features.
(FR)
La présente invention concerne un procédé qui décrit des informations de topographie extraites d'images de microscope électronique à balayage (SEM pour Scanning Electron Microscope) pour déterminer la vitesse de balayage d'image de microscope à force atomique (AFM) au niveau de chaque point d'échantillonnage ou dans chaque région sur un échantillon. Le procédé comprend le traitement d'images de microscope SEM pour extraire des caractéristiques topographiques possibles et pour créer une carte de mesure de caractéristiques (étape 1), la conversion de la carte de mesure de caractéristiques en une carte de vitesse de balayage de microscope AFM (étape 2) et la réalisation d'un balayage de microscope AFM en fonction de la carte de vitesse de balayage (étape 3). Le procédé permet un balayage de microscope AFM avec des vitesses de balayage plus élevées dans des zones ayant moins de caractéristiques topographiques, et des vitesses de balayage plus faibles dans des zones qui sont riches en caractéristiques topographiques.
Latest bibliographic data on file with the International Bureau