(EN) A method for estimating a parameter across a region on a substrate, the region being divided into a plurality of sub-regions, the method comprising: obtaining values of the parameter for at least two sub- regions out of said plurality of sub-regions; and estimating the parameter for a position on the region by evaluation of a function having said values of the parameter as input values, wherein the function: a) comprises piecewise defined base functions, wherein a single base function is defined across a sub- region; and b) is continuous between one or more adjacent sub-regions of the at least two sub-regions comprised within the region.
(FR) L'invention concerne un procédé d'estimation d'un paramètre à travers une région sur un substrat, la région étant divisée en une pluralité de sous-régions, le procédé consistant à : obtenir des valeurs du paramètre pour au moins deux sous-régions parmi ladite pluralité de sous-régions ; et estimer le paramètre pour une position sur la région par évaluation d'une fonction ayant lesdites valeurs du paramètre en tant que valeurs d'entrée. La fonction : a) comprend des fonctions de base définies par morceaux, une seule fonction de base étant définie à travers une sous-région ; et b) est continue entre une ou plusieurs sous-régions adjacentes parmi les au moins deux sous-régions comprises dans la région.
