(EN) A substrate processing apparatus, according to one embodiment of the present invention, comprises: a gas spraying part (101) comprising two gas distribution parts (140, 130) which are positioned at the upper part in a chamber (110) and are spatially separated, and two types of nozzles (133, 138) which are connected to the two gas distribution parts, respectively, and have mutually different lengths; a first electrode (120) connected to an RF power source and arranged at the lower part of the gas spraying part (101) so as to be perpendicularly spaced apart from the gas spraying part (101), and comprising a plurality of opening parts (122) into which, among the nozzles, one type of the nozzles are inserted, respectively; and a second electrode (152) for mounting a substrate and arranged so as to face the first electrode (120).
(FR) L'invention concerne un appareil de traitement de substrat, qui comprend, selon un mode de réalisation de la présente invention : une partie de pulvérisation de gaz (101) comprenant deux parties de distribution de gaz (140, 130) qui sont placées au niveau de la partie supérieure dans une chambre (110) et sont séparées spatialement, et deux types de buses (133, 138) qui sont reliées aux deux parties de distribution de gaz, respectivement, et ont des longueurs mutuellement différentes ; une première électrode (120) reliée à une source d'énergie RF et agencée au niveau de la partie inférieure de la partie de pulvérisation de gaz (101) de façon à être espacée perpendiculairement de la partie de pulvérisation de gaz (101), et comprenant une pluralité de parties d'ouverture (122) dans laquelle, parmi les buses, un type de buse est inséré, respectivement ; et une seconde électrode (152) pour monter un substrat et agencée de façon à faire face à la première électrode (120).
(KO) 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 챔버(110) 내 상부에 위치하고 공간적으로 분리된 2개의 가스 분배부(140, 130)와 2개의 가스 분배부에 각각 연결되고 길이가 서로 다른 2 종류의 노즐들(133, 138)을 포함한 가스 분사부(101); RF 전원에 연결되고 상기 가스 분사부(101)의 하부에 상기 가스 분사부(101)와 수직으로 이격되어 배치되고 상기 노즐들 중에서 한 종류의 노즐들 각각이 삽입되는 복수의 개구부들(122)을 포함하는 제1 전극(120); 및 상기 제1 전극(120)과 대향하여 배치되고 기판을 장착하는 제2 전극(152)을 포함한다.