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1. (WO2019088833) PROBE, METHOD OF MANUFACTURING A PROBE AND SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM
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Pub. No.: WO/2019/088833 International Application No.: PCT/NL2018/050725
Publication Date: 09.05.2019 International Filing Date: 31.10.2018
IPC:
G01Q 70/10 (2010.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
70
General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/196
08
Probe characteristics
10
Shape or taper
Applicants:
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO [NL/NL]; Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage, NL
Inventors:
HERFST, Roelof, Willem; NL
DEKKER, Albert; NL
BIJNAGTE, Anton, Adriaan; NL
BIEMOND, Jan, Jacobus, Benjamin; NL
Agent:
WITMANS, H.A.; V.O. P.O. Box 87930 2508 DH Den Haag, NL
Priority Data:
17199494.001.11.2017EP
Title (EN) PROBE, METHOD OF MANUFACTURING A PROBE AND SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM
(FR) SONDE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE SONDE ET SYSTÈME DE MICROSCOPIE À SONDE DE BALAYAGE
Abstract:
(EN) This document relates to a probe for use in a scanning probe microscopy device. The probe comprises a cantilever and a probe tip being located at a first end section of the cantilever. The cantilever is configured for bending in a Z -direction perpendicular to a surface of a substrate in use. The cantilever comprises a neck section and a paddle section, and the probe tip is located on the paddle section. The neck section has a width and height in cross section thereof, comprises a base part having a rectangular cross section. The cantilever at least across a length of the neck section comprises a ridge extending in a direction away from the base part. The base part and the ridge together define the width and height of the neck section, and have dimensions such that a vertical bending stiffness of the cantilever for bending in the Z-direction matches a lateral stiffness of the cantilever with respect to forces acting on the probe tip in a direction transverse to the Z- direction. The document further describes a manufacturing method.
(FR) La présente invention concerne une sonde à utiliser dans un système de microscopie à sonde de balayage. La sonde comprend un élément en porte-à-faux et une pointe de sonde se trouvant au niveau d'une première section d'extrémité de l'élément en porte-à-faux. L'élément en porte-à-faux est conçu pour se plier dans une direction Z perpendiculaire à une surface d'un substrat lors de l'utilisation. L'élément en porte-à-faux comprend une section col et une section palette, et la pointe de sonde est située sur la section palette. La section col a une largeur et une hauteur dans sa section transversale, comprend une partie base ayant une section transversale rectangulaire. L'élément en porte-à-faux, au moins sur une longueur de la section col, comprend une arête s'étendant dans une direction s'éloignant de la partie base. La partie base et l'arête définissent ensemble la largeur et la hauteur de la section de col, et ont des dimensions telles qu'une rigidité à la flexion verticale Du porte-à-faux pour une flexion dans la direction Z correspond à une rigidité latérale du Porte-à-faux par rapport à des forces agissant sur la pointe de sonde dans une direction transversale à la direction Z. L'invention concerne également un système de fabrication.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Licensing availability request The applicant has requested the International Bureau to indicate the availability for licensing purposes of the invention(s) claimed in this international application