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1. (WO2019067948) CLOSURE MECHANISM VACUUM CHAMBER ISOLATION DEVICE AND SUB-SYSTEM
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Pub. No.: WO/2019/067948 International Application No.: PCT/US2018/053503
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 28.09.2018
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054, US
Inventors:
NGUYEN, Tuan Anh; US
Agent:
PATTERSON, B., Todd; US
DOUGHERTY, Chad, M.; US
Priority Data:
62/565,90029.09.2017US
Title (EN) CLOSURE MECHANISM VACUUM CHAMBER ISOLATION DEVICE AND SUB-SYSTEM
(FR) DISPOSITIF D'ISOLATION DE CHAMBRE À VIDE DE MÉCANISME DE FERMETURE ET SOUS-SYSTÈME
Abstract:
(EN) The present disclosure generally relates to an isolation device for use in processing systems. The isolation device includes a body having a flow aperture formed therethrough. In one embodiment, the isolation device is disposed between a remote plasma source and a process chamber. A closure mechanism is pivotally disposed within the body. The closure mechanism can be actuated to enable or disable fluid communication between the remote plasma source and the process chamber. In one embodiment, the closure mechanism includes a shaft and a seal plate coupled to the shaft. A cross-arm is coupled to the shaft opposite the seal plate. The cross-arm is configured to selectively rotate the shaft and the seal plate of the closure mechanism.
(FR) La présente invention concerne d'une manière générale un dispositif d'isolation destiné à être utilisé dans des systèmes de traitement. Le dispositif d'isolation comprend un corps ayant une ouverture d'écoulement formée à travers celui-ci. Dans un mode de réalisation, le dispositif d'isolation est disposé entre une source de plasma distante et une chambre de traitement. Un mécanisme de fermeture est disposé en pivotement à l'intérieur du corps. Le mécanisme de fermeture peut être actionné pour activer ou désactiver une communication fluidique entre la source de plasma distante et la chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, le mécanisme de fermeture comprend un arbre et une plaque d'étanchéité accouplée à l'arbre. Un bras transversal est accouplé à l'arbre en regard de la plaque d'étanchéité. Le bras transversal est conçu pour faire tourner sélectivement l'arbre et la plaque d'étanchéité du mécanisme de fermeture.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)