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1. (WO2019067885) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
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Pub. No.: WO/2019/067885 International Application No.: PCT/US2018/053403
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 28.09.2018
IPC:
H01J 37/32 (2006.01) ,F16K 51/02 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16
ENGINEERING ELEMENTS OR UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
K
VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
51
Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
02
specially adapted for high-vacuum installations
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors:
RIORDON, Benjamin B.; US
CARLSON, Charles T.; US
WEBB, Aaron; US
WYKA, Gary; US
Agent:
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
Priority Data:
62/565,91529.09.2017US
Title (EN) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLEMENT DOUBLE VOIE POUR NETTOYAGE PAR PLASMA À DISTANCE
Abstract:
(EN) The present disclosure generally relates to an isolation device for use in processing systems. The isolation device has a body with an inlet opening disposed at a first end coupled to a processing system component such as a remote plasma source and outlet openings, for example two, disposed at a second end which are coupled to a processing system component such as a process chamber. Flaps disposed within the body are actuatable to an open position from a closed position or to a closed position from an open position, to selectively allow or prevent passage of a fluid from the processing system component coupled to the isolation device to the other processing system component coupled thereto.
(FR) De manière générale, la présente divulgation concerne un dispositif d'isolement destiné à être utilisé dans des systèmes de traitement. Le dispositif d'isolement comprend un corps pourvu d'une ouverture d'admission ménagée à une première extrémité raccordée à un composant de système de traitement tel qu'une source de plasma à distance et d'ouvertures d'évacuation, par exemple deux, ménagées à une seconde extrémité qui sont raccordées à un composant de système de traitement tel qu'une chambre de traitement. Des clapets logés à l'intérieur du corps peuvent être actionnés jusqu'à une position ouverte à partir d'une position fermée ou jusqu'à une position fermée à partir d'une position ouverte, pour permettre ou empêcher sélectivement le passage d'un fluide entre le composant de système de traitement raccordé au dispositif d'isolement et l'autre composant de système de traitement raccordé à celui-ci.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)