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1. (WO2019065701) INSPECTION POSITION SPECIFICATION METHOD, THREE-DIMENSIONAL IMAGE GENERATION METHOD, AND INSPECTION DEVICE
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Pub. No.: WO/2019/065701 International Application No.: PCT/JP2018/035606
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 26.09.2018
IPC:
G01N 23/046 (2018.01) ,G01N 23/18 (2018.01)
[IPC code unknown for G01N 23/046]
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23
Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation not covered by group G01N21/ or G01N22/159
02
by transmitting the radiation through the material
06
and measuring the absorption
08
using electric detection means
18
Investigating the presence of flaws or inclusions
Applicants:
株式会社サキコーポレーション SAKI CORPORATION [JP/JP]; 東京都江東区枝川三丁目1番4号 3-1-4, Edagawa, Koto-ku, Tokyo 1350051, JP
Inventors:
平山 巧馬 HIRAYAMA Takuma; JP
山本 洋介 YAMAMOTO Yosuke; JP
Agent:
保坂 丈世 HOSAKA Joyo; JP
Priority Data:
2017-18745028.09.2017JP
2017-18745128.09.2017JP
Title (EN) INSPECTION POSITION SPECIFICATION METHOD, THREE-DIMENSIONAL IMAGE GENERATION METHOD, AND INSPECTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE SPÉCIFICATION DE POSITION D'INSPECTION, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'IMAGE TRIDIMENSIONNELLE ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査位置の特定方法、3次元画像の生成方法、及び検査装置
Abstract:
(EN) Provided are: an inspection position specification method with which accurate inspection is possible without specifying in advance the position (Z-direction position) of an inspection surface on an object to be inspected; a three-dimensional image generation method with which a three-dimensional image necessary for inspection can be generated without specifying in advance the position (Z-direction position) of an inspection surface on an object to be inspected, and with which inspection can be performed using the image; and an inspection device including these methods. An inspection device 100 comprises: a storage unit 34 that stores a radiation transmission image of an object to be inspected (substrate) and a three-dimensional image generated from the radiation transmission image; and a control unit 10. A process executed by the control unit 10 for specifying an inspection position in the three-dimensional image includes: a step for specifying, in the radiation transmission image, the position of a transmission image of an inspection position; and a step for specifying an inspection position in the three-dimensional image from the position of the transmission image.
(FR) L'invention concerne : un procédé de spécification de position d'inspection grâce auquel une inspection précise est possible sans spécifier à l'avance la position (position de direction Z) d'une surface d'inspection sur un objet à inspecter ; un procédé de génération d'image tridimensionnelle grâce auquel une image tridimensionnelle nécessaire à l'inspection peut être générée sans spécifier à l'avance la position (position de direction Z) d'une surface d'inspection sur un objet à inspecter, et grâce auquel une inspection peut être effectuée à l'aide de l'image ; et un dispositif d'inspection comprenant lesdits procédés. Un dispositif d'inspection (100) comprend : une unité de mémoire (34) qui mémorise une image d'émission de rayonnement d'un objet à inspecter (substrat) et une image tridimensionnelle générée à partir de l'image d'émission de rayonnement ; et une unité de commande (10). Un processus exécuté par l'unité de commande (10) permettant de spécifier une position d'inspection dans l'image tridimensionnelle consiste : à spécifier, dans l'image d'émission de rayonnement, la position d'une image d'émission d'une position d'inspection ; et à spécifier une position d'inspection dans l'image tridimensionnelle à partir de la position de l'image d'émission.
(JA) 被検査対象における検査面の位置(Z方向位置)を予め特定することなく正確な検査を行うことができる検査位置の特定方法、及び、被検査対象における検査面の位置(Z方向位置)を予め特定することなく検査に必要な3次元画像を生成して検査を行うことができる3次元画像の生成方法、並びにこれらの方法を有する検査装置を提供する。 検査装置100は、被検査体(基板)の放射線透過画像及びこの放射線透過画像から生成された3次元画像を記憶する記憶部34と、制御部10と、を有し、制御部10の3次元画像における検査位置を特定する処理は、放射線透過画像において、検査位置の透過像の位置を特定するステップと、透過像の位置から、3次元画像における検査位置を特定するステップと、を有する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)