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1. (WO2019065607) ASSISTANCE SYSTEM FOR SPECIFIC TEST, AND ASSISTANCE METHOD AND PROGRAM FOR SPECIFIC TEST
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Pub. No.: WO/2019/065607 International Application No.: PCT/JP2018/035393
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 25.09.2018
IPC:
G01N 23/2252 (2018.01) ,G06N 99/00 (2019.01)
[IPC code unknown for G01N 23/2252]
G PHYSICS
06
COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
N
COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
99
Subject matter not provided for in other groups of this subclass
Applicants:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi-shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors:
多田 信資 TADA, Nobuyoshi; JP
田中 成弥 TANAKA, Shigeya; JP
野口 稔 NOGUCHI, Minori; JP
大南 祐介 OOMINAMI, Yuusuke; JP
後藤 摩耶 GOTO, Maya; JP
Agent:
平川 明 HIRAKAWA, Akira; JP
関根 武彦 SEKINE, Takehiko; JP
今堀 克彦 IMABORI, Katsuhiko; JP
大竹 裕明 OTAKE, Hiroaki; JP
Priority Data:
2017-18595127.09.2017JP
Title (EN) ASSISTANCE SYSTEM FOR SPECIFIC TEST, AND ASSISTANCE METHOD AND PROGRAM FOR SPECIFIC TEST
(FR) SYSTÈME D'ASSISTANCE POUR TEST SPÉCIFIQUE ET PROCÉDÉ ET PROGRAMME D'ASSISTANCE POUR TEST SPÉCIFIQUE
(JA) 特定検査向け支援システム、特定検査向け支援方法およびプログラム
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to increase accuracy of a specific test using an electronic microscope and improve work efficiency. Provided is a system that identifies test recipe information corresponding to an object to be tested on the basis of attribute information about a testing sample, and analyzes and evaluates the object to be tested contained in the testing sample by checking image data and element analysis data that are acquired by a measuring device in accordance with a control program for the test recipe information, against reference image data and reference element analysis data that are used as evaluation references for the object to be tested.
(FR) L'objectif de la présente invention est d'augmenter la précision d'un test spécifique à l'aide d'un microscope électronique et d'améliorer l'efficacité de travail. L'invention concerne un système qui identifie des informations de formule de test correspondant à un objet à tester sur la base d'informations d'attribut concernant un échantillon de test et analyse et évalue l'objet à tester contenu dans l'échantillon de test en vérifiant des données d'image et des données d'analyse d'élément qui sont acquises par un dispositif de mesure conformément à un programme de commande pour les informations de formule de test, par rapport à des données d'image de référence et des données d'analyse d'élément de référence qui sont utilisées en tant que références d'évaluation pour l'objet à tester.
(JA) 電子顕微鏡を用いた特定検査の精度を高め、作業効率を向上させる。システムは、検査試料の属性情報に基づいて検査対象物に応じた検査レシピ情報を特定し、当該検査レシピ情報の制御プログラムに従って計測装置で取得された画像データおよび元素分析データと、検査対象物の評価基準になる基準画像データおよび基準元素分析データとの照合により検査試料の検査対象物の分析評価を行う。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)