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1. (WO2019064810) APPEARANCE INSPECTION DEVICE AND APPEARANCE INSPECTION METHOD
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Pub. No.: WO/2019/064810 International Application No.: PCT/JP2018/026003
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 10.07.2018
IPC:
G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/84 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95
characterised by the material or shape of the object to be examined
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
Applicants:
日本電産株式会社 NIDEC CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市南区久世殿城町338番地 338 Kuzetonoshiro-cho, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018205, JP
Inventors:
山田 栄二 YAMADA, Eiji; JP
Priority Data:
2017-18885328.09.2017JP
Title (EN) APPEARANCE INSPECTION DEVICE AND APPEARANCE INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D’INSPECTION D’APPARENCE ET PROCÉDÉ D’INSPECTION D’APPARENCE
(JA) 外観検査装置及び外観検査方法
Abstract:
(EN) [Problem] The present invention addresses the problem of improving accuracy of detecting abnormality of the surface of a workpiece. [Solution] An appearance inspection device 500 for inspecting appearance of a workpiece W includes: a first illuminating unit 110 that irradiates the workpiece W with light; a first image pickup unit 120 that picks up an image of the workpiece W being irradiated with the light by means of the first illuminating unit 110; a first detection unit 130 that detects a first failure from an image P1 picked up by means of the first image pickup unit 120; a second illuminating unit 210 that irradiates the workpiece W with light; a second image pickup unit 220 that picks up an image of the workpiece W being irradiated with the light by means of the second illuminating unit 210; and a second detection unit 230 that detects a second failure from the image picked up by means of the second image pickup unit 220. The first illuminating unit 110 uses coaxial epi-illumination, and the second illuminating unit 210 uses coaxial epi-illumination and dome illumination.
(FR) La présente invention vise à améliorer la précision de détection d'une anomalie de la surface d'une pièce à travailler. L'invention concerne par conséquent un dispositif d'inspection d'apparence (500) pour inspecter l'apparence d'une pièce à travailler (W) qui comprend : une première unité d'éclairage (110) qui expose la pièce à travailler (W) à une lumière ; une première unité de capture d'image (120) qui capture une image de la pièce à travailler W étant exposée à la lumière au moyen de la première unité d'éclairage (110) ; une première unité de détection (130) qui détecte une première défaillance à partir d'une image (P1) capturée au moyen de la première unité de capture d'image (120) ; une seconde unité d'éclairage(210) qui expose la pièce à travailler à une lumière ; une seconde unité de capture d'image (220) qui capture une image de la pièce à travailler (W) étant exposée à la lumière au moyen de la seconde unité d'éclairage (210) ; et une seconde unité de détection (230) qui détecte une seconde défaillance à partir de l'image capturée au moyen de la seconde unité de capture d'image (220). La première unité d'éclairage (110) utilise l'épi-éclairage coaxial, et la seconde unité d'éclairage (210) utilise un épi-éclairage coaxial et un éclairage en dôme.
(JA) 【課題】ワークの表面における異常を検出する精度を向上させる。【解決手段】ワークWの外観を検査する外観検査装置500であって、ワークWの外観を検査する外観検査装置500であって、ワークWに光を照射する第1照明部110と、第1照明部110によって照射されたワークWを撮像する第1撮像部120と、第1撮像部120が撮像した画像P1から第1不良を検出する第1検出部130と、ワークWに光を照射する第2照明部210と、第2照明部210によって照射されたワークWを撮像する第2撮像部220と、第2撮像部220が撮像した画像から第2不良を検出する第2検出部230と、を含み、第1照明部110は、同軸落射照明を用い、第2照明部210は、同軸落射照明及びドーム照明を用いる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)