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1. (WO2019064360) X-RAY SPECTROSCOPIC ANALYSIS DEVICE AND CHEMICAL STATE ANALYSIS DEVICE USING SAID X-RAY SPECTROSCOPIC ANALYSIS DEVICE
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Pub. No.: WO/2019/064360 International Application No.: PCT/JP2017/034860
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 27.09.2017
IPC:
G01N 23/207 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23
Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation not covered by group G01N21/ or G01N22/159
20
by using diffraction of the radiation, e.g. for investigating crystal structure; by using reflection of the radiation
207
by means of diffractometry using detectors, e.g. using an analysing crystal or a crystal to be analysed in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
Applicants:
株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
Inventors:
佐藤 賢治 SATO, Kenji; JP
Agent:
特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; 京都府京都市下京区東洞院通四条下ル元悪王子町37番地 豊元四条烏丸ビル Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
Priority Data:
Title (EN) X-RAY SPECTROSCOPIC ANALYSIS DEVICE AND CHEMICAL STATE ANALYSIS DEVICE USING SAID X-RAY SPECTROSCOPIC ANALYSIS DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE SPECTROSCOPIQUE À RAYONS X ET DISPOSITIF D'ANALYSE D'ÉTAT CHIMIQUE UTILISANT LEDIT DISPOSITIF D'ANALYSE SPECTROSCOPIQUE À RAYONS X
(JA) X線分光分析装置、及び該X線分光分析装置を用いた化学状態分析方法
Abstract:
(EN) An X-ray spectroscopic analysis device (10) comprises: an excitation source (11) that irradiates a prescribed irradiation region (A) of a surface of a sample (S) with excitation rays for generating characteristic X-rays; a dispersive crystal (13) that is provided facing the irradiation region (A) and comprises a flat plate; a slit (12) that is provided between the irradiation region (A) and the dispersive crystal (13), and is parallel to the irradiation region (A) and a prescribed crystal plane of the dispersive crystal (13); an X-ray linear sensor (14) in which line-shaped detection elements (141) that are long in a direction parallel to the slit (12) are provided so as to line up in a direction perpendicular to the slit (12); and an energy calibration unit (16) that measures two characteristic X-rays with known energies by irradiating a surface of a standard sample with the excitation rays from the excitation source (11), said standard sample generating said two characteristic X-rays by being irradiated with the excitation rays, and on the basis of the energies of the two measured characteristic X-rays, calibrates the energies of characteristic X-rays detected by each of the detection elements (141) of the X-ray linear sensor (14). The energies of characteristic X-rays emitted by a sample for measurement can thus be calculated more accurately.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'analyse spectroscopique à rayons X (10) comprenant : une source d'excitation (11) qui irradie une région d'irradiation prescrite (A) d'une surface d'un échantillon (S) avec des rayons d'excitation pour produire des rayons X caractéristiques ; un cristal dispersif (13) qui est disposé en regard de la région d'irradiation (A) et comprend une plaque plate ; une fente (12) qui est disposée entre la région d'irradiation (A) et le cristal dispersif (13), et qui est parallèle à la région d'irradiation (A) et à un plan prescrit du cristal dispersif (13) ; un capteur linéaire de rayons X (14) dans lequel des éléments de détection en forme de ligne (141) qui sont longs dans une direction parallèle à la fente (12) sont disposés de façon à s'aligner dans une direction perpendiculaire à la fente (12) ; et une unité d'étalonnage d'énergie (16) qui mesure deux rayons X caractéristiques avec des énergies connues par irradiation d'une surface d'un échantillon standard avec les rayons d'excitation provenant de la source d'excitation (11), ledit échantillon standard produisant lesdits deux rayons X caractéristiques en étant irradié par les rayons d'excitation, et sur la base des énergies des deux rayons X caractéristiques mesurés, étalonne les énergies de rayons X caractéristiques détectées par chacun des éléments de détection (141) du capteur linéaire de rayons X (14). Les énergies des rayons X caractéristiques émis par un échantillon en vue de leur mesure peuvent ainsi être calculées de manière plus précise.
(JA) X線分光分析装置(10)は、試料(S)表面の所定の照射領域(A)に、特性X線を発生させるための励起線を照射する励起源(11)と、照射領域(A)に面して設けられた、平板から成る分光結晶(13)と、照射領域(A)と分光結晶(13)の間に設けられた、照射領域(A)及び分光結晶(13)の所定の結晶面に平行なスリット(12)と、スリット(12)に平行な方向に長さを有する線状の検出素子(141)がスリット(12)に垂直な方向に並ぶように設けられたX線リニアセンサ(14)と、前記励起線を照射することでエネルギーが既知である2つの特性X線を生成する標準試料の表面に、励起源(11)から該励起線を照射することによって該2つの特性X線を測定し、該測定した2つの特性X線のエネルギーに基づいて、X線リニアセンサ(14)の検出素子(141)の各々により検出される特性X線のエネルギーを較正するエネルギー較正部(16)とを備える。測定対象試料が放出する特性X線のエネルギーをより高精度に求めることができる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)