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1. (WO2019064013) IMPROVED SYSTEM FOR ELECTRON DIFFRACTION ANALYSIS
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Pub. No.: WO/2019/064013 International Application No.: PCT/GB2018/052766
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 28.09.2018
IPC:
H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/295 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
22
Optical or photographic arrangements associated with the tube
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
295
Electron- or ion-diffraction tubes
Applicants:
OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED [GB/GB]; Tubney Woods Abingdon Oxon OX13 5QX, GB
Inventors:
STATHAM, Peter; GB
BEWICK, Angus; GB
Agent:
GILL JENNINGS & EVERY LLP; The Broadgate Tower 20 Primrose Street London EC2A 2ES, GB
Priority Data:
1715902.129.09.2017GB
Title (EN) IMPROVED SYSTEM FOR ELECTRON DIFFRACTION ANALYSIS
(FR) SYSTÈME AMÉLIORÉ POUR ANALYSE PAR DIFFRACTION ÉLECTRONIQUE
Abstract:
(EN) A method and system for processing a diffraction pattern image obtained in an electron microscope are disclosed. The method comprises, according to a first set of microscope conditions, causing an electron beam to impinge upon a calibration specimen so as to cause resulting electrons to be emitted therefrom and monitoring the resulting electrons using a detector device so as to obtain a calibration image comprising a plurality of pixels having values, the first set of microscope conditions being configured such that the calibration image includes substantially no electron diffraction pattern; obtaining, from the calibration image, a gain variation image comprising a plurality of pixels, each having a value representing relative detector device gain for a corresponding pixel of the calibration image; according to a second set of microscope conditions, causing an electron beam to impinge upon a target specimen so as to cause resulting electrons to be emitted therefrom and monitoring the resulting electrons using the detector device so as to obtain a target image comprising a plurality of pixels having values, the second set of microscope conditions being configured such that the target image includes an electron diffraction pattern; and for each pixel of the target image, removing from the pixel value, in accordance with the value of the corresponding pixel of the gain variation image, the contribution to the pixel value of the relative detector device gain, so as to obtain a gain variation-corrected image.
(FR) Cette invention concerne un procédé et un système de traitement d'une image de motif de diffraction obtenue dans un microscope électronique. Le procédé comprend, selon un premier ensemble de conditions de microscope, les étapes consistant à : amener un faisceau d'électrons à heurter un échantillon d'étalonnage de façon à amener les électrons résultants à être émis à partir de celui-ci et surveiller les électrons résultants à l'aide d'un dispositif de détection de façon à obtenir une image d'étalonnage comprenant une pluralité de pixels ayant des valeurs, le premier ensemble de conditions de microscope étant configuré de telle sorte que l'image d'étalonnage ne comprend sensiblement aucun motif de diffraction électronique ; obtenir, à partir de l'image d'étalonnage, une image de variation de gain comprenant une pluralité de pixels, chacun ayant une valeur représentant un gain relatif de dispositif de détection pour un pixel correspondant de l'image d'étalonnage ; selon un second ensemble de conditions de microscope, amener un faisceau d'électrons à heurter un échantillon cible de façon à amener les électrons résultants à être émis à partir de celui-ci et surveiller les électrons résultants à l'aide du dispositif de détection de façon à obtenir une image cible comprenant une pluralité de pixels ayant des valeurs, le second ensemble de conditions de microscope étant configuré de telle sorte que l'image cible comprend un motif de diffraction électronique ; et pour chaque pixel de l'image cible, retirer de la valeur de pixel, en fonction de la valeur du pixel correspondant de l'image de variation de gain, la contribution à la valeur de pixel du gain relatif de dispositif de détection, de façon à obtenir une image à variation de gain corrigée.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)