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1. (WO2019063433) OPTICAL HEIGHT DETECTION SYSTEM
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Pub. No.: WO/2019/063433 International Application No.: PCT/EP2018/075621
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 21.09.2018
IPC:
H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01) ,H01J 37/30 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
22
Optical or photographic arrangements associated with the tube
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30
Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
ZHANG, Jian; US
KANG, Zhiwen; US
WANG, Yixiang; US
Agent:
PETERS, John; NL
Priority Data:
62/564,99428.09.2017US
Title (EN) OPTICAL HEIGHT DETECTION SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE DÉTECTION DE HAUTEUR OPTIQUE
Abstract:
(EN) An optical height detection system in a charged particle beam inspection system. The optical height detection system includes a projection unit including a modulated illumination source, a projection grating mask including a projection grating pattern, and a projection optical unit for projecting the projection grating pattern to a sample; and a detection unit including a first detection grating mask including a first detection grating pattern, a second detection grating mask including a second detection grating pattern, and a detection optical system for forming a first grating image from the projection grating pattern onto the first detection grating mask and forming a second grating image from the projection grating pattern onto the second detection grating masks. The first and second detection grating patterns at least partially overlap the first and second grating images, respectively.
(FR) La présente invention concerne un système de détection de hauteur optique dans un système d'inspection de faisceau de particules chargées. Le système de détection de hauteur optique comprend une unité de projection comprenant une source d'éclairage modulée, un masque de réseau de projection comprenant un motif de réseau de projection, et une unité optique de projection permettant de projeter le motif de réseau de projection sur un échantillon; et une unité de détection comprenant un premier masque de réseau de détection comprenant un premier motif de réseau de détection, un second masque de réseau de détection comprenant un second motif de réseau de détection, et un système optique de détection permettant de former une première image de réseau à partir du motif de réseau de projection sur le premier masque de réseau de détection et former une seconde image de réseau à partir du motif de réseau de projection sur les seconds masques de réseau de détection. Les premier et second motifs de réseau de détection chevauchent au moins partiellement les première et seconde images de réseau, respectivement.
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)