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1. (WO2019063432) DETECTION OF BURIED FEATURES BY BACKSCATTERED PARTICLES
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Pub. No.: WO/2019/063432 International Application No.: PCT/EP2018/075610
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 21.09.2018
IPC:
H01J 37/244 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
WANG, Joe; US
LIN, Chia Wen; US
CHEN, Zhongwei; US
YEH, Chang-Chun; TW
Agent:
PETERS, John; NL
Priority Data:
62/563,60126.09.2017US
Title (EN) DETECTION OF BURIED FEATURES BY BACKSCATTERED PARTICLES
(FR) DÉTECTION DE CARACTÉRISTIQUES ENFOUIES PAR DES PARTICULES RÉTRODIFFUSÉES
Abstract:
(EN) Disclosed herein an apparatus (100) and a method for detecting buried features using backscattered particles. In an example, the apparatus comprises a source of charged particles; a stage (30); optics (16) configured to direct a beam of the charged particles to a sample (9) supported on the stage; a signal detector (5010) configured to detect backscattered particles of the charged particles in the beam from the sample; wherein the signal detector has angular resolution. In an example, the methods comprises obtaining an image of backscattered particles from a region of a sample; determining existence or location of a buried feature based on the image.
(FR) L'invention concerne un appareil (100) et un procédé de détection de caractéristiques enfouies à l'aide de particules rétrodiffusées. Dans un exemple, l'appareil comprend une source de particules chargées; une platine (30); des optiques (16) conçues pour diriger un faisceau des particules chargées vers un échantillon (9) supporté sur la platine; un détecteur de signal (5010) conçu pour détecter des particules rétrodiffusées des particules chargées dans le faisceau à partir de l'échantillon; le détecteur de signal ayant une résolution angulaire. Dans un exemple, les procédés comprennent l'obtention d'une image de particules rétrodiffusées à partir d'une région d'un échantillon; la détermination de l'existence ou de l'emplacement d'une caractéristique enterrée sur la base de l'image.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)