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1. (WO2019063403) METHOD AND DEVICE FOR CONTACTLESSLY MEASURING A DISTANCE TO A SURFACE OR A DISTANCE BETWEEN TWO SURFACES
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Pub. No.: WO/2019/063403 International Application No.: PCT/EP2018/075441
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 20.09.2018
IPC:
G02B 21/00 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G01J 3/02 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3
Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02
Details
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
Applicants:
PRECITEC OPTRONIK GMBH [DE/DE]; Schleussnerstr. 54 63263 Neu-Isenburg, DE
Inventors:
DIETZ, Christoph; DE
Agent:
OSTERTAG & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Epplestraße 14 70597 Stuttgart, DE
Priority Data:
10 2017 122 689.329.09.2017DE
Title (EN) METHOD AND DEVICE FOR CONTACTLESSLY MEASURING A DISTANCE TO A SURFACE OR A DISTANCE BETWEEN TWO SURFACES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE SANS CONTACT D’UNE DISTANCE À UNE SURFACE OU D’UNE DISTANCE ENTRE DEUX SURFACES
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN MESSUNG EINES ABSTANDS ZU EINER OBERFLÄCHE ODER EINES ABSTANDS ZWISCHEN ZWEI OBERFLÄCHEN
Abstract:
(EN) The invention relates to a measuring device for contactlessly measuring a distance to a surface (19) or a distance between two surfaces, comprising a measurement light source (11), which produces polychromatic measurement light (12), and an optical measuring head (16), which directs the measurement light (12) produced by the measurement light source (11) onto a measurement object (18) and receives measurement light (12') reflected therefrom. A spectrograph (20) with a dispersive optical element (22) and a detector (24) analyses the reflected measurement light (12') spectrally. A calibration light source (30) produces calibration light (32) having a known and temperature-independent spectral composition. An evaluation device (28) derives correction values from changes in a spectrum, which is produced by the calibration light (32) on light-sensitive cells (26) of the detector (24), by means of which correction values a predefined allocation between the light-sensitive cells (26) on the one hand and wavelengths, or variables derived from wavelengths, on the other hand is modified.
(FR) Un dispositif de mesure destiné à mesurer sans contact une distance à une surface (19) ou une distance entre deux surfaces comprend une source de lumière de mesure (11), qui génère une lumière de mesure polychromatique (12), et une tête de mesure optique (16) qui oriente la lumière de mesure (12), générée par la source de lumière de mesure (11), sur un objet de mesure (18) et reçoit une lumière de mesure (12’) réfléchie par celui-ci. Un spectrographe (20) pourvu d’un élément optique dispersif (22) et d’un détecteur (24) analyse spectralement la lumière de mesure réfléchie (12’). Une source de lumière d’étalonnage (30) génère une lumière d’étalonnage (32) et de composition spectrale connue indépendante de la température. À partir de modifications du spectre produit par la lumière d’étalonnage (32) sur des cellules photosensibles (26) du détecteur (24), un dispositif d’évaluation (28) déduit des valeurs de correction avec lesquelles une relation prédéterminée entre les cellules photosensibles (26) d’une part et les longueurs d’onde ou des grandeurs dérivées des longueurs d’onde, d’autre part est modifiée.
(DE) Eine Messvorrichtung zur berührungslosen Messung eines Abstands zu einer Oberfläche (19) oder eines Abstands zwischen zwei Oberflächen umfasst eine Messlichtquelle (11), die polychromatisches Messlicht (12) erzeugt, und einen optischen Messkopf (16) auf, der das von der Messlichtquelle (11) erzeugte Messlicht (12) auf ein Messobjekt (18) richtet und davon reflektiertes Messlicht (12') aufnimmt. Ein Spektrograf (20) mit einem dispersiven optischen Element (22) und einem Detektor (24) analysiert das reflektierte Messlicht (12') spektral. Eine Kalibrierlichtquelle (30) erzeugt Kalibrierlicht (32) bekannter und temperatur- unabhängiger spektraler Zusammensetzung. Eine Auswerteeinrichtung (28) leitet aus Ver- änderungen eines Spektrums, das von dem Kalibrierlicht (32) auf lichtempfindlichen Zellen (26) des Detektors (24) erzeugt wird, Korrekturwerte ab, mit denen eine vorgegebene Zu- ordnung zwischen den lichtempfindlichen Zellen (26) einerseits und Wellenlängen oder aus Wellenlängen abgeleiteten Größen andererseits modifiziert wird.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)