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1. (WO2019061886) DISPLAY PANEL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
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Pub. No.: WO/2019/061886 International Application No.: PCT/CN2017/117972
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 22.12.2017
IPC:
H01L 27/32 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27
Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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including components using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part
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with components specially adapted for light emission, e.g. flat-panel displays using organic light-emitting diodes
Applicants:
武汉华星光电技术有限公司 WUHAN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD [CN/CN]; 中国湖北省武汉市 武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 Building C5, Biolake of Optics Valley, No.666 Gaoxin Avenue, Wuhan East Lake High-tech Development Zone Wuhan, Hubei 430070, CN
Inventors:
胡重粮 HU, Chongliang; CN
Agent:
广州三环专利商标代理有限公司 SCIHEAD IP LAW FIRM; 中国广东省广州市 越秀区先烈中路80号汇华商贸大厦1508室 Room 1508, Huihua Commercial & Trade Building No. 80, XianLie Zhong Road, Yuexiu District Guangzhou, Guangdong 510070, CN
Priority Data:
201710914061230.09.2017CN
Title (EN) DISPLAY PANEL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) PANNEAU D'AFFICHAGE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(ZH) 一种显示面板及其制作方法
Abstract:
(EN) A manufacturing method for a display panel, comprising: preparing two gates on an active layer by deposition, yellow light irradiation and etching processes; depositing a second interlayer insulation layer (60) on a first interlayer insulation layer (50), the second interlayer insulation layer (60) being an organic film layer, and acting as a buffer and a bonding of upper and lower layers, and also increasing the depth of a first contact hole (304). The corresponding second interlayer insulation layer (60) forming the first contact hole (304) can be removed by yellow light irradiation and etching processes, such that the depth of the first contact hole (304) is reduced; and then performing deposition to form a source and a drain (305), so that the problem of being too long and easily fractured is solved, thereby reducing the depth of the first contact hole (304) and also reducing the process difficulty of forming the source and the drain (305). The present solution further provides a display panel.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un panneau d'affichage, consistant à : préparer deux grilles sur une couche active par des processus de dépôt, d'irradiation de lumière jaune et de gravure ; déposer une seconde couche d'isolation intercalaire (60) sur une première couche d'isolation intercalaire (50), la seconde couche d'isolation intercalaire (60) étant une couche de film organique et servant de tampon et de liaison de couches supérieure et inférieure, et augmentant également la profondeur d'un premier trou de contact (304). La seconde couche d'isolation intercalaire (60) correspondante formant le premier trou de contact (304) peut être retirée par des processus d'irradiation de lumière jaune et de gravure, de telle sorte que la profondeur du premier trou de contact (304) est réduite ; puis un dépôt est réalisé en vue de former une source et un drain (305), de telle sorte que le problème de longueur excessive et de fracture facile est résolu, réduisant ainsi la profondeur du premier trou de contact (304) et réduisant également la difficulté du processus relative à la formation de la source et du drain (305). La présente invention concerne également un panneau d'affichage.
(ZH) 一种显示面板的制作方法,在有源层上通过沉积、黄光、蚀刻制程制备两个栅极,在第一层间绝缘层(50)上沉积第二层间绝缘层(60),第二层间绝缘层(60)为有机膜层,可以起到缓冲作用和粘结上下层的作用,也增加第一接触孔(304)的孔深,在形成第一接触孔(304)的对应第二层间绝缘层(60)能通过黄光、蚀刻制程去掉,从而使第一接触孔(304)的孔深降低了,然后沉积形成源漏极(305)就避免了过长而导致易断裂的问题,将第一接触孔(304)的孔深降低同时也降低了形成源漏极(305)的工艺难度。本方案还提供一种显示面板。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)