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1. (WO2019061585) EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD OF TRANSPARENT SUBSTRATE
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Pub. No.: WO/2019/061585 International Application No.: PCT/CN2017/106678
Publication Date: 04.04.2019 International Filing Date: 18.10.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Exposure; Apparatus therefor
Applicants:
武汉华星光电技术有限公司 WUHAN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD [CN/CN]; 中国湖北省武汉市 武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 Building C5, Biolake of Optics Valley, No.666 Gaoxin Avenue, Wuhan East Lake High-tech Development Zone Wuhan, Hubei 430070, CN
Inventors:
丁磊 DING, Lei; CN
Agent:
广州三环专利商标代理有限公司 SCIHEAD IP LAW FIRM; 中国广东省广州市 越秀区先烈中路80号汇华商贸大厦1508室 Room 1508, Huihua Commercial&Trade Building No. 80, XianLie Zhong Road, Yuexiu District Guangzhou, Guangdong 510070, CN
Priority Data:
201710889535227.09.2017CN
Title (EN) EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD OF TRANSPARENT SUBSTRATE
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION DE SUBSTRAT TRANSPARENT
(ZH) 曝光设备及透明基板的曝光方法
Abstract:
(EN) An exposure apparatus comprises a bearing device (100) and an ultraviolet light generating device (70). The ultraviolet light generating device (70) emits light to a transparent substrate (300) placed on the bearing device (100). The bearing device (100) comprises a base (10), a linear motor (20), an exposure platform (30), and an air flotation device (40). The air flotation device (40) is disposed between the exposure platform (30) and the base (10), and enables the exposure platform (30) to be supported on the base (10). A stator (24) of the linear motor (20) is fixed to the base (10). A moving member (22) of the linear motor (20) is fixedly connected to the exposure platform (30). The linear motor (20) drives the exposure platform (30) to move relative to the base (10). The invention further provides an exposure method of a transparent substrate (300). The linear motor (20) only drives movement of the exposure platform (30), thereby improving exposure speed and accuracy. The air flotation device (40) also has a cushioning function, ensuring that the exposure platform (30) is always stable and level, so as to improve production efficiency and product yields of manufacturers.
(FR) La présente invention concerne un appareil d'exposition qui comprend un dispositif de support (100) et un dispositif générateur de lumière ultraviolette (70). Le dispositif générateur de lumière ultraviolette (70) émet de la lumière sur un substrat transparent (300) placé sur le dispositif de support (100). Le dispositif de support (100) comprend une base (10), un moteur linéaire (20), une plateforme d'exposition (30) et un dispositif de flottaison à air (40). Le dispositif de flottaison à air (40) est disposé entre la plateforme d'exposition (30) et la base (10), et il permet à la plateforme d'exposition (30) d'être supportée sur la base (10). Un stator (24) du moteur linéaire (20) est fixé à la base (10). Un élément mobile (22) du moteur linéaire (20) est relié de manière fixe à la plateforme d'exposition (30). Le moteur linéaire (20) entraîne la plateforme d'exposition (30) à se déplacer par rapport à la base (10). L'invention concerne en outre un procédé d'exposition d'un substrat transparent (300). Le moteur linéaire (20) commande uniquement le mouvement de la plateforme d'exposition (30), ce qui permet d'améliorer la vitesse et la précision d'exposition. Le dispositif de flottaison à air (40) possède également une fonction amortissante qui fait en sorte que la plateforme d'exposition (30) est toujours stable et de niveau de façon à améliorer l'efficacité de la production et le rendement des fabricants.
(ZH) 一种曝光设备,包括承载装置(100)和紫外光发生装置(70),紫外光发生装置(70)用于照射放置于承载装置(100)上的透明基板(300),其中,承载装置(100)包括基座(10)、直线电机(20)、曝光平台(30)及气浮装置(40),气浮装置(40)放置于曝光平台(30)与基座(10)之间,气浮装置(40)将曝光平台(30)支撑于基座(10)之上,直线电机(20)的定子(24)固定于基座(10),直线电机(20)的动子(22)固定连接至曝光平台(30),直线电机(20)用于驱动曝光平台(30)相对基座(10)运动。以及透明基板(300)的曝光方法。直线电机(20)仅驱动曝光平台(30)运动,有利于提高曝光速度和曝光精度,同时气浮装置(40)具有缓冲功能,保持曝光平台(30)始终稳定、水平,提高了生产厂商的生产效率及产品良率。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)