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1. WO2019058627 - INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD

Publication Number WO/2019/058627
Publication Date 28.03.2019
International Application No. PCT/JP2018/018034
International Filing Date 10.05.2018
IPC
G01N 21/88 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
G01N 21/95 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
CPC
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
G01N 21/95
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
Applicants
  • 株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 大槻 祥平 OTSUKI, Shohei
Agents
  • 振角 正一 FURIKADO, Shoichi
  • 大西 一正 OHNISHI, Kazumasa
Priority Data
2017-18328625.09.2017JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置および検査方法
Abstract
(EN)
The present invention is provided with: a distal end imaging mechanism for imaging a distal end of a convex section of a workpiece that is rotating; an upstream imaging mechanism for imaging an upstream wall surface linked to the distal end of the convex section from a bottom section of a concave section adjacent to the upstream side of the convex section in the direction of rotation of the workpiece; a downstream imaging mechanism for imaging a downstream wall surface linked to the distal end of the convex section from a bottom section of a concave section adjacent to the downstream side of the convex section in the direction of rotation; and an inspection unit for inspecting the workpiece on the basis of the images captured by the distal end imaging mechanism, the upstream imaging mechanism, and the downstream imaging mechanism. The upstream imaging mechanism and/or the downstream imaging mechanism: has a moving part for positioning by translational movement within an orthogonal plane orthogonal to an axis of symmetry; and captures images from a position having been positioned by the moving part on the radially outward side of the workpiece.
(FR)
La présente invention comprend : un mécanisme d'imagerie d'extrémité distale permettant d'imager une extrémité distale d'une section convexe d'une pièce à travailler en rotation ; un mécanisme d'imagerie amont permettant d'imager une surface de paroi amont liée à l'extrémité distale de la section convexe à partir d'une section inférieure d'une section concave adjacente au côté amont de la section convexe dans la direction de rotation de la pièce à travailler ; un mécanisme d'imagerie aval permettant d'imager une surface de paroi aval liée à l'extrémité distale de la section convexe à partir d'une section inférieure d'une section concave adjacente au côté aval de la section convexe dans la direction de rotation ; et une unité d'inspection permettant d'inspecter la pièce à travailler en fonction des images capturées par le mécanisme d'imagerie d'extrémité distale, le mécanisme d'imagerie en amont et le mécanisme d'imagerie en aval. Le mécanisme d'imagerie en amont et/ou le mécanisme d'imagerie en aval : possède une partie mobile permettant un positionnement par mouvement de translation dans un plan orthogonal orthogonal à un axe de symétrie ; et capture des images à partir d'une position ayant été positionnée par la partie mobile sur le côté situé radialement vers l'extérieur de la pièce à travailler.
(JA)
回転しているワークの凸部の先端を撮像する先端撮像機構と、ワークの回転方向において凸部の上流側に隣接する凹部の底部から凸部の先端に繋がる上流壁面を撮像する上流撮像機構と、回転方向において凸部の下流側に隣接する凹部の底部から凸部の先端に繋がる下流壁面を撮像する下流撮像機構と、先端撮像機構、上流撮像機構および下流撮像機構により撮像された画像に基づいてワークを検査する検査部とを備え、上流撮像機構および下流撮像機構のうちの少なくとも一方は、対称軸と直交する直交面内において平行移動させて位置決めする移動部を有し、ワークの径方向外側で移動部により位置決めされた位置より撮像する。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau