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1. (WO2019052736) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
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Pub. No.: WO/2019/052736 International Application No.: PCT/EP2018/070627
Publication Date: 21.03.2019 International Filing Date: 30.07.2018
IPC:
G02B 7/182 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7
Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
18
for prisms; for mirrors
182
for mirrors
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08
for controlling the direction of light
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
Applicants:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Inventors:
HARTJES, Joachim; DE
Agent:
KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart, DE
Priority Data:
10 2017 216 498.018.09.2017DE
Title (EN) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉPARATION DU SYSTÈME OPTIQUE APRÈS UN CHOC
(DE) OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR REPARATUR DER OPTISCHEN ANORDNUNG NACH EINER SCHOCKBELASTUNG
Abstract:
(EN) The invention relates to an optical arrangement, more particularly a lithography system, comprising: a first component (19), more particularly a supporting frame, a second component (13, 3) which is movable relative to the first component (19), more particularly a mirror (13) or a housing (3), and at least one stop (20a) having at least one stop surface (21a, b) for limiting the movement of the second component (13) relative to the first component (19). The stop (20a, b) comprises a metal foam (22) for absorbing the kinetic energy of the second component when it strikes against the stop surface (21a). The invention further relates to a method for repairing an optical arrangement of this kind after a shock load, comprising: exchanging at least one stop (20b), in which the metal foam (22) was compressed under the shock load, for a stop (20b) in which the metal foam (22) is not compressed.
(FR) L’invention concerne un système optique, en particulier un système de lithographie, comprenant : un premier composant (19), en particulier un cadre porteur, un second composant (13, 3) mobile par rapport au premier composant (19), en particulier un miroir (13) ou un boîtier (3), ainsi qu’au moins une butée (20a) présentant au moins une surface de butée (21a, b) limitant le déplacement du second composant (13) par rapport au premier composant (19). La butée (20a, b) présente une mousse métallique (22) servant à absorber l’énergie cinétique du second composant lorsqu'il bute contre la surface de butée (21a). L’invention concerne également un procédé de réparation dudit système optique après un choc, consistant à : remplacer au moins une butée (20b) dont la mousse métallique (22) a été écrasée par le choc par une butée (20b) dont la mousse métallique (22) n’est pas écrasée par le choc.
(DE) Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, insbesondere ein Lithographiesystem, umfassend: eine erste Komponente (19), insbesondere einen Tragrahmen, eine relativ zur ersten Komponente (19) bewegliche zweite Komponente (13, 3), insbesondere einen Spiegel (13) oder ein Gehäuse (3), sowie mindestens einen Anschlag (20a) mit mindestens einer Anschlagfläche (21a, b) zur Begrenzung der Bewegung der zweiten Komponente (13) relativ zur ersten Komponente (19). Der Anschlag (20a, b) weist zur Absorption der kinetischen Energie der zweiten Komponente beim Anschlagen gegen die Anschlagfläche (21a) einen Metallschaum (22) auf. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Reparatur einer solchen optischen Anordnung nach einer Schockbelastung, umfassend: Austauschen mindestens eines Anschlags (20b), bei dem der Metallschaum (22) bei der Schockbelastung gestaucht wurde, gegen einen Anschlag (20b), bei dem der Metallschaum (22) nicht gestaucht ist.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)